CVD-coatingtechnologie heeft de volgende kenmerken:
1. De werking van CVD-apparatuur is relatief eenvoudig en flexibel, en er kunnen enkelvoudige of samengestelde films en legeringsfilms met verschillende verhoudingen mee worden geproduceerd;
2. CVD-coating heeft een breed scala aan toepassingen en kan worden gebruikt voor het aanbrengen van diverse metaal- of metaalfilmcoatings;
3. Hoge productie-efficiëntie dankzij afzettingssnelheden variërend van enkele microns tot honderden microns per minuut;
4. In vergelijking met de PVD-methode heeft CVD betere diffractieprestaties en is het zeer geschikt voor het coaten van substraten met complexe vormen, zoals groeven, gecoate gaten en zelfs blinde gaten. De coating kan worden aangebracht tot een film met een goede compactheid. Door de hoge temperatuur tijdens het filmvormingsproces en de sterke hechting tussen de film en het substraat is de filmlaag zeer stevig.
5. De schade veroorzaakt door straling is relatief laag en kan worden geïntegreerd met MOS-geïntegreerde schakelingsprocessen.
— Dit artikel is gepubliceerd door Guangdong Zhenhua, eenfabrikant van vacuümcoatingmachines
Geplaatst op: 29 maart 2023