Imọ-ẹrọ ibora CVD ni awọn abuda wọnyi:
1. Iṣiṣẹ ilana ti awọn ohun elo CVD jẹ irọrun ati irọrun, ati pe o le mura ẹyọkan tabi awọn fiimu akojọpọ ati awọn fiimu alloy pẹlu awọn ipin oriṣiriṣi;
2. CVD ti a bo ni awọn ohun elo ti o pọju, ati pe o le ṣee lo lati ṣeto orisirisi irin tabi awọn fiimu fiimu irin;
3. Ṣiṣe iṣelọpọ giga nitori awọn oṣuwọn ifisilẹ ti o wa lati awọn microns diẹ si awọn ọgọọgọrun microns fun iṣẹju kan;
4. Akawe pẹlu PVD ọna, CVD ni o ni dara diffraction išẹ ati ki o jẹ gidigidi dara fun a bo sobsitireti pẹlu eka ni nitobi, gẹgẹ bi awọn grooves, ti a bo ihò, ati paapa afọju iho ẹya.Awọn ti a bo le ti wa ni palara sinu kan fiimu pẹlu ti o dara iwapọ.Nitori iwọn otutu giga lakoko ilana iṣelọpọ fiimu, ati ifaramọ ti o lagbara lori wiwo sobusitireti fiimu, Layer fiimu jẹ iduroṣinṣin pupọ.
5. Awọn bibajẹ ṣẹlẹ nipasẹ Ìtọjú jẹ jo kekere ati ki o le ti wa ni ese pẹlu MOS ese Circuit lakọkọ.
——Nkan yii jẹ atẹjade nipasẹ Guangdong Zhenhua, aigbale ti a bo ẹrọ olupese
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-29-2023