Àwọn Ànímọ́ ti Ẹ̀rọ Ìbòrí CVD

Imọ-ẹrọ ti a bo CVD ni awọn abuda wọnyi:

1. Iṣẹ́ ilana ti awọn ohun elo CVD rọrun pupọ ati irọrun, o si le pese awọn fiimu kan tabi awọn fiimu apapo ati awọn fiimu alloy pẹlu awọn iwọn oriṣiriṣi;

2. Aṣọ CVD ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìlò, a sì lè lò ó láti pèsè onírúurú àṣọ fíìmù irin tàbí irin;

3. Iṣẹ́ àgbékalẹ̀ gíga nítorí ìwọ̀n ìfipamọ́ tí ó wà láti àwọn máíkírónù díẹ̀ sí ọgọ́rọ̀ọ̀rún máíkírónù fún ìṣẹ́jú kan;

4. Ní ìfiwéra pẹ̀lú ọ̀nà PVD, CVD ní iṣẹ́ ìyípadà tó dára jù, ó sì dára fún fífi àwọn ohun èlò ìbòrí bo àwọn ohun èlò ìbòrí pẹ̀lú àwọn ìrísí tó díjú, bí àwọn ihò, àwọn ihò tí a fi bo, àti àwọn ohun èlò ihò afọ́jú pàápàá. A lè fi ìbòrí náà bo fíìmù pẹ̀lú ìtẹ̀síwájú tó dára. Nítorí otútù gíga nígbà tí a bá ń ṣe fíìmù náà, àti ìsopọ̀ tó lágbára lórí ìsopọ̀ ohun èlò ìbòrí fíìmù náà, ìpele fíìmù náà le koko gan-an.

5. Ipalara ti itankalẹ fa kere pupọ ati pe a le ṣe idapo pẹlu awọn ilana iyipo ti a ṣe akojọpọ MOS.

——Gangdong Zhenhua, a, ló gbé àpilẹ̀kọ yìí jádeẹrọ fifọ ideri igbale