Технологияи пӯшиши CVD дорои хусусиятҳои зерин мебошад:
1. Тарзи кори таҷҳизоти CVD нисбатан содда ва чандир аст ва он метавонад филмҳои якка ё таркибӣ ва филмҳои хӯлаиро бо таносубҳои гуногун омода кунад;
2. Пӯшиши CVD доираи васеи татбиқ дорад ва метавонад барои тайёр кардани рӯйпӯшҳои гуногуни металлӣ ё плёнкаи металлӣ истифода шавад;
3. Самаранокии баланди истеҳсолот аз сабаби суръати таҳшиншавӣ аз чанд микрон то садҳо микрон дар як дақиқа;
4. Дар муқоиса бо усули PVD, CVD дорои самаранокии беҳтари дифраксия мебошад ва барои пӯшонидани субстратҳо бо шаклҳои мураккаб, ба монанди чуқурчаҳо, сӯрохиҳои пӯшонидашуда ва ҳатто сохторҳои сӯрохиҳои нобино, хеле мувофиқ аст. Пӯшишро метавон ба плёнка бо зичии хуб пӯшонд. Аз сабаби ҳарорати баланд ҳангоми раванди ташаккули плёнка ва часпиши қавӣ ба сатҳи субстрати плёнка, қабати плёнка хеле мустаҳкам аст.
5. Зарари аз радиатсия расонидашуда нисбатан кам аст ва онро бо равандҳои схемаи интегралии MOS муттаҳид кардан мумкин аст.
——Ин мақола аз ҷониби Гуандун Чжэнхуа нашр шудааст,истеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣ
Вақти нашр: 29 марти соли 2023