CVD பூச்சு தொழில்நுட்பம் பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:
1. CVD உபகரணத்தின் செயல்முறை இயக்கம் ஒப்பீட்டளவில் எளிமையானது மற்றும் நெகிழ்வானது, மேலும் அதனால் வெவ்வேறு விகிதங்களில் ஒற்றை அல்லது கலவைப் படலங்களையும் உலோகக் கலவைப் படலங்களையும் தயாரிக்க முடியும்;
2. CVD பூச்சு பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இதனைப் பயன்படுத்தி பல்வேறு உலோகம் அல்லது உலோகப் படலப் பூச்சுகளைத் தயாரிக்கலாம்;
3. நிமிடத்திற்குச் சில மைக்ரான்கள் முதல் நூற்றுக்கணக்கான மைக்ரான்கள் வரையிலான படிவு விகிதங்கள் காரணமாக உயர் உற்பத்தித் திறன்;
4. PVD முறையுடன் ஒப்பிடும்போது, CVD சிறந்த ஒளிச்சிதறல் செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பள்ளங்கள், பூசப்பட்ட துளைகள், மற்றும் கண்ணுக்குத் தெரியாத துளை அமைப்புகள் போன்ற சிக்கலான வடிவங்களைக் கொண்ட அடி மூலக்கூறுகளில் பூசுவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது. இந்தப் பூச்சை நல்ல அடர்த்தியுடன் ஒரு படலமாகப் பூச முடியும். படலம் உருவாக்கும் செயல்முறையின் போது ஏற்படும் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் படலம்-அடி மூலக்கூறு இடைமுகத்தில் உள்ள வலுவான ஒட்டுதல் காரணமாக, படல அடுக்கு மிகவும் உறுதியாக உள்ளது.
5. கதிர்வீச்சினால் ஏற்படும் பாதிப்பு ஒப்பீட்டளவில் குறைவாகும், மேலும் இதனை MOS ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று செயல்முறைகளுடன் ஒருங்கிணைக்க முடியும்.
இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவாவால் வெளியிடப்பட்டது.வெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்
பதிவிட்ட நேரம்: மார்ச் 29, 2023