Astaamaha qalabka dahaarka CVD

Tiknoolajiyada dahaarka CVD waxay leedahay sifooyinka soo socda:

1. Hawlgalka habka qalabka CVD waa mid fudud oo dabacsan, wuxuuna diyaarin karaa filimaan hal ama isku dhafan iyo filimaan isku dhafan oo leh cabbirro kala duwan;

2. Dahaarka CVD wuxuu leeyahay codsiyo kala duwan, waxaana loo isticmaali karaa in lagu diyaariyo dahaarka filimada birta ama birta kala duwan;

3. Wax-soo-saar sare oo ay ugu wacan tahay heerarka dhigista oo u dhexeeya dhowr microns ilaa boqolaal microns daqiiqaddii;

4. Marka la barbardhigo habka PVD, CVD waxay leedahay waxqabad diffraction oo ka wanaagsan waxayna aad ugu habboon tahay dahaarka substrate-ka leh qaabab adag, sida godad, godad dahaadh leh, iyo xitaa qaab-dhismeedka godadka indhoolayaasha ah. Dahaarka waxaa lagu dhejin karaa filim leh isku-dhafan wanaagsan. Sababtoo ah heerkulka sare inta lagu jiro habka sameynta filimka, iyo isku-dhejinta xooggan ee ku taal isku-xirka substrate-ka filimka, lakabka filimku aad buu u adag yahay.

5. Khasaaraha ka dhasha shucaaca waa mid aad u hooseeya waxaana lagu dari karaa hababka wareegga isku dhafan ee MOS.

——Maqaalkan waxaa daabacay Guangdong Zhenhua, oo ahsoo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumka