تتميز تقنية طلاء CVD بالخصائص التالية:
1. عملية تشغيل معدات CVD بسيطة ومرنة نسبيًا ، ويمكنها تحضير أغشية مفردة أو مركبة وأغشية من السبائك بنسب مختلفة.
2. طلاء CVD له نطاق واسع من التطبيقات ، ويمكن استخدامه لتحضير طلاءات غشاء معدنية أو معدنية مختلفة.
3. كفاءة إنتاج عالية بسبب معدلات الترسيب التي تتراوح من بضعة ميكرونات إلى مئات الميكرونات في الدقيقة.
4. بالمقارنة مع طريقة PVD ، فإن CVD لديها أداء حيود أفضل ومناسب جدًا لطلاء الركائز ذات الأشكال المعقدة ، مثل الأخاديد ، والثقوب المطلية ، وحتى هياكل الفتحات العمياء.يمكن طلاء الطلاء في فيلم مع الاكتناز الجيد.نظرًا لارتفاع درجة الحرارة أثناء عملية تشكيل الفيلم ، والالتصاق القوي على واجهة الركيزة للفيلم ، فإن طبقة الفيلم ثابتة جدًا
5. الضرر الناجم عن الإشعاع منخفض نسبيًا ويمكن دمجه مع عمليات الدوائر المتكاملة MOS.
—— تم نشر هذا المقال من قبل Guangdong Zhenhua ، أالشركة المصنعة لآلة طلاء الفراغ
الوقت ما بعد: مارس-29-2023