Njirimara nke akụrụngwa mkpuchi CVD

Teknụzụ mkpuchi CVD nwere njirimara ndị a:

1. Usoro ọrụ nke akụrụngwa CVD dị mfe ma dịkwa mfe ịgbanwe, ọ nwekwara ike ịkwadebe otu ma ọ bụ ihe nkiri mejupụtara ya na ihe nkiri alloy nwere nha dị iche iche;

2. Mkpuchi CVD nwere ọtụtụ ojiji, enwere ike iji ya kwadebe ihe mkpuchi ígwè ma ọ bụ ihe mkpuchi ígwè dị iche iche;

3. Mmepụta dị elu n'ihi ọnụego ntinye ego sitere na obere micron ole na ole ruo ọtụtụ narị micron kwa nkeji;

4. Ma e jiri ya tụnyere usoro PVD, CVD nwere arụmọrụ diffraction ka mma ma dịkwa mma maka mkpuchi ihe ndị nwere ọdịdị dị mgbagwoju anya, dịka oghere, oghere ndị a kpuchiri ekpuchi, na ọbụna nhazi oghere kpuru ìsì. Enwere ike itinye mkpuchi ahụ n'ime fim nwere obere mkpụmkpụ. N'ihi oke okpomọkụ n'oge usoro nhazi ihe nkiri ahụ, na nrapado siri ike na njikọ ihe nkiri ahụ, oyi akwa ihe nkiri ahụ siri ike nke ukwuu.

5. Mmebi nke radieshon na-akpata dị obere ma enwere ike ijikọta ya na usoro sekit MOS agbakwunyere.

——E bipụtara akụkọ a site n'aka Guangdong Zhenhua, onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchi