CVD-katte tehnoloogial on järgmised omadused:
1. CVD-seadmete tööprotsess on suhteliselt lihtne ja paindlik ning sellega saab valmistada erineva proportsiooniga üksikuid või komposiitkilesid ja legeeritud kilesid;
2. CVD-kattel on lai valik rakendusi ja seda saab kasutada mitmesuguste metall- või metallkilekatete valmistamiseks;
3. kõrge tootmistõhusus tänu sadestuskiirustele, mis ulatuvad mõnest mikronist sadade mikroniteni minutis;
4. Võrreldes PVD-meetodiga on CVD-l paremad difraktsiooninäitajad ja see sobib väga hästi keeruka kujuga substraatide katmiseks, nagu sooned, kaetud augud ja isegi pimeaukude struktuurid.Katte võib katta hea kompaktsusega kileks.Tänu kile moodustamise protsessi kõrgele temperatuurile ja tugevale adhesioonile kile aluspinna liidesega on kilekiht väga kindel
5. Kiirgusest põhjustatud kahjustused on suhteliselt väikesed ja integreeritavad MOS-i integraallülitusprotsessidega.
——Selle artikli on avaldanud Guangdong Zhenhua, avaakumkatmismasina tootja
Postitusaeg: 29. märts 2023