Mae gan dechnoleg cotio CVD y nodweddion canlynol:
1. Mae gweithrediad proses offer CVD yn gymharol syml a hyblyg, a gall baratoi ffilmiau sengl neu gyfansawdd a ffilmiau aloi gyda gwahanol gyfrannau;
2. Mae gan cotio CVD ystod eang o gymwysiadau, a gellir ei ddefnyddio i baratoi haenau metel neu ffilm fetel amrywiol;
3. Effeithlonrwydd cynhyrchu uchel oherwydd cyfraddau dyddodiad yn amrywio o ychydig ficron i gannoedd o ficronau y funud;
4. O'i gymharu â dull PVD, mae gan CVD berfformiad diffreithiant gwell ac mae'n addas iawn ar gyfer gorchuddio swbstradau â siapiau cymhleth, megis rhigolau, tyllau wedi'u gorchuddio, a hyd yn oed strwythurau twll dall.Gellir platio'r cotio i mewn i ffilm gyda chrynoder da.Oherwydd y tymheredd uchel yn ystod y broses ffurfio ffilm, a'r adlyniad cryf ar y rhyngwyneb swbstrad ffilm, mae'r haen ffilm yn gadarn iawn
5. Mae'r difrod a achosir gan ymbelydredd yn gymharol isel a gellir ei integreiddio â phrosesau cylched integredig MOS.
—— Cyhoeddir yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua, agwneuthurwr peiriant cotio gwactod
Amser post: Maw-29-2023