CVD qoplama texnologiyasi quyidagi xususiyatlarga ega:
1. CVD uskunalarining texnologik ishlashi nisbatan sodda va moslashuvchan bo'lib, u turli nisbatlarga ega yakka yoki kompozit plyonkalar va qotishma plyonkalarni tayyorlashi mumkin;
2. CVD qoplamasi keng qo'llanilish doirasiga ega va turli xil metall yoki metall plyonka qoplamalarini tayyorlash uchun ishlatilishi mumkin;
3. Cho'kish tezligi daqiqasiga bir necha mikrondan yuzlab mikrongacha bo'lganligi sababli yuqori ishlab chiqarish samaradorligi;
4. PVD usuli bilan taqqoslaganda, CVD yaxshiroq diffraktsiya ko'rsatkichlariga ega va oluklar, qoplangan teshiklar va hatto ko'r teshikli tuzilmalar kabi murakkab shakllarga ega substratlarni qoplash uchun juda mos keladi. Qoplama yaxshi ixchamlikka ega plyonkaga qo'llanilishi mumkin. Plyonka hosil qilish jarayonida yuqori harorat va plyonka substrati interfeysiga kuchli yopishish tufayli plyonka qatlami juda qattiq.
5. Radiatsiya keltirib chiqaradigan zarar nisbatan past va MOS integral mikrosxemalar jarayonlari bilan integratsiya qilinishi mumkin.
——Ushbu maqola Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi
Nashr vaqti: 2023-yil 29-mart