បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត CVD មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោមៈ
1. ដំណើរការនៃគ្រឿងបរិក្ខារ CVD គឺសាមញ្ញ និងអាចបត់បែនបាន ហើយវាអាចរៀបចំខ្សែភាពយន្តតែមួយ ឬសមាសធាតុ និងខ្សែភាពយន្តយ៉ាន់ស្ព័រដែលមានសមាមាត្រខុសៗគ្នា។
2. ថ្នាំកូត CVD មានជួរធំទូលាយនៃកម្មវិធី, និងអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តដែកឬដែកផ្សេងគ្នា;
3. ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មខ្ពស់ដោយសារតែអត្រានៃការដាក់ប្រាក់ចាប់ពីពីរបីមីក្រូទៅរាប់រយមីក្រូក្នុងមួយនាទី។
4. បើប្រៀបធៀបជាមួយវិធីសាស្ត្រ PVD CVD មានដំណើរការឌីផេរ៉ង់ស្យែលប្រសើរជាង ហើយស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមស្រោបដែលមានរាងស្មុគ្រស្មាញ ដូចជាចង្អូរ រន្ធស្រោប និងសូម្បីតែរចនាសម្ព័ន្ធរន្ធពិការភ្នែក។ថ្នាំកូតអាចត្រូវបានលាបចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តជាមួយនឹងការបង្រួមល្អ។ដោយសារតែសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត និងការស្អិតជាប់ខ្លាំងនៅលើចំណុចប្រទាក់ស្រទាប់ខាងក្រោមនៃខ្សែភាពយន្ត ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមានភាពរឹងមាំខ្លាំង។
5. ការខូចខាតដែលបណ្តាលមកពីវិទ្យុសកម្មមានកម្រិតទាបហើយអាចត្រូវបានរួមបញ្ចូលជាមួយដំណើរការសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា MOS ។
—— អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពដោយ Guangdong Zhenhua, aក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៩ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៣