បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត CVD មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោម៖
1. ប្រតិបត្តិការដំណើរការនៃឧបករណ៍ CVD គឺសាមញ្ញ និងអាចបត់បែនបាន ហើយវាអាចរៀបចំខ្សែភាពយន្តតែមួយ ឬខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ និងខ្សែភាពយន្តយ៉ាន់ស្ព័រដែលមានសមាមាត្រខុសៗគ្នា។
2. ថ្នាំកូត CVD មានកម្មវិធីជាច្រើនប្រភេទ ហើយអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូតលោហៈ ឬខ្សែភាពយន្តលោហៈផ្សេងៗ។
៣. ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មខ្ពស់ដោយសារតែអត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ចាប់ពីមីក្រូនមួយចំនួនរហូតដល់រាប់រយមីក្រូនក្នុងមួយនាទី។
៤. បើប្រៀបធៀបជាមួយវិធីសាស្ត្រ PVD វិធីសាស្ត្រ CVD មានដំណើរការឌីផ្រាក់ស្យុងល្អជាង ហើយស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់ការស្រោបស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានរាងស្មុគស្មាញ ដូចជាចង្អូរ រន្ធស្រោប និងសូម្បីតែរចនាសម្ព័ន្ធរន្ធខ្វាក់។ ថ្នាំកូតអាចត្រូវបានស្រោបចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តដែលមានភាពបង្រួមល្អ។ ដោយសារតែសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត និងការស្អិតជាប់ខ្លាំងនៅលើចំណុចប្រទាក់ស្រទាប់ខាងក្រោមខ្សែភាពយន្ត ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមានភាពរឹងមាំខ្លាំង។
៥. ការខូចខាតដែលបណ្តាលមកពីវិទ្យុសកម្មមានកម្រិតទាប ហើយអាចត្រូវបានរួមបញ្ចូលជាមួយដំណើរការសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា MOS។
——អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយ Guangdong Zhenhua ដែលជាក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលី
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៩ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៣