O le tekinolosi ufiufi CVD e iai ona uiga nei:
1. O le fa'agaioiga o le fa'agaioiga o masini CVD e faigofie ma fetu'una'i, ma e mafai ona saunia ni ata tifaga e tasi pe tu'ufa'atasi ma ni ata tifaga u'amea ma ni vaega eseese;
2. E tele fa'aoga o le ufiufi CVD, ma e mafai ona fa'aaoga e saunia ai le tele o ufiufi u'amea po'o ata u'amea;
3. Maualuga le lelei o le gaosiga ona o le fua faatatau o le teuina e amata mai i ni nai microns i le selau o microns i le minute;
4. Pe a fa'atusatusa i le metotia PVD, e sili atu le lelei o le fa'agasologa o le CVD i le diffraction ma e matua talafeagai lava mo le ufiufiina o substrates e iai foliga faigata, e pei o alavai, pu ua ufiufi, ma e o'o lava i fausaga o pu tauaso. E mafai ona ufiufi le ufiufi i totonu o se ata tifaga e lelei le mafiafia. Ona o le vevela maualuga i le taimi o le fa'agasologa o le fausiaina o le ata tifaga, ma le malosi o le pipii i luga o le va o le substrate o le ata tifaga, e matua mautu lava le vaega o le ata tifaga.
5. E fai si maualalo o le faʻaleagaina e mafua mai i le faʻavevela ma e mafai ona tuʻufaʻatasia ma faiga faʻatino a le MOS integrated circuit.
——O lenei tusiga ua lomia e Guangdong Zhenhua, o segaosi oloa masini ufiufi vacuum
Taimi na lafoina ai: Mati-29-2023