Teknolojia ya mipako ya CVD ina sifa zifuatazo:
1. Uendeshaji wa mchakato wa vifaa vya CVD ni rahisi na rahisi kubadilika, na inaweza kuandaa filamu moja au mchanganyiko na filamu za aloi zenye uwiano tofauti;
2. Mipako ya CVD ina matumizi mbalimbali, na inaweza kutumika kuandaa mipako mbalimbali ya chuma au filamu ya chuma;
3. Ufanisi mkubwa wa uzalishaji kutokana na viwango vya uwekaji kuanzia mikroni chache hadi mamia ya mikroni kwa dakika;
4. Ikilinganishwa na mbinu ya PVD, CVD ina utendaji bora wa uenezaji na inafaa sana kwa substrates za mipako zenye maumbo tata, kama vile mifereji, mashimo yaliyofunikwa, na hata miundo ya mashimo yasiyoonekana. Mipako inaweza kufunikwa kwenye filamu yenye ufupi mzuri. Kwa sababu ya halijoto ya juu wakati wa mchakato wa kutengeneza filamu, na mshikamano mkubwa kwenye kiolesura cha substrate ya filamu, safu ya filamu ni imara sana.
5. Uharibifu unaosababishwa na mionzi ni mdogo kiasi na unaweza kuunganishwa na michakato ya saketi jumuishi ya MOS.
——Makala hii imechapishwa na Guangdong Zhenhua,mtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupu
Muda wa chapisho: Machi-29-2023