Karakteristike opreme za CVD premazivanje

CVD tehnologija premaza ima sljedeće karakteristike:

1. Procesni rad CVD opreme je relativno jednostavan i fleksibilan, i može pripremiti pojedinačne ili kompozitne filmove i filmove od legura različitih proporcija;

2. CVD premaz ima širok spektar primjena i može se koristiti za pripremu raznih metalnih ili metalnih filmskih premaza;

3. Visoka proizvodna efikasnost zbog brzine taloženja u rasponu od nekoliko mikrona do stotina mikrona u minuti;

4. U poređenju sa PVD metodom, CVD ima bolje performanse difrakcije i veoma je pogodan za oblaganje supstrata složenih oblika, kao što su žljebovi, obložene rupe, pa čak i strukture slepih rupa.Premaz se može postaviti u film dobre kompaktnosti.Zbog visoke temperature tokom procesa formiranja filma i jake adhezije na sučelju filmske podloge, sloj filma je vrlo čvrst

5. Šteta uzrokovana zračenjem je relativno mala i može se integrirati s MOS procesima integriranih kola.

——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua, aproizvođač mašina za vakumsko premazivanje