የ CVD ሽፋን መሳሪያዎች ባህሪያት

የሲቪዲ ሽፋን ቴክኖሎጂ የሚከተሉትን ባህሪያት አሉት:

1. የሲቪዲ መሳሪያዎች የሂደት አሠራር በአንጻራዊነት ቀላል እና ተለዋዋጭ ነው፣ እና ነጠላ ወይም የተዋሃዱ ፊልሞችን እና የተለያዩ መጠኖችን ያላቸውን ቅይጥ ፊልሞችን ማዘጋጀት ይችላል፤

2. የሲቪዲ ሽፋን ሰፋ ያለ አፕሊኬሽኖች ያሉት ሲሆን የተለያዩ የብረት ወይም የብረት ፊልም ሽፋኖችን ለማዘጋጀት ሊያገለግል ይችላል፤

3. ከጥቂት ማይክሮኖች እስከ በደቂቃ በመቶዎች የሚቆጠሩ ማይክሮኖች ድረስ ባለው የማስቀመጫ መጠን ምክንያት ከፍተኛ የምርት ውጤታማነት፤

4. ከ PVD ዘዴ ጋር ሲነጻጸር፣ CVD የተሻለ የዲፍራክሽን አፈፃፀም ያለው ሲሆን እንደ ጎድጎድ፣ የተሸፈኑ ቀዳዳዎች እና ሌላው ቀርቶ ዓይነ ስውር ቀዳዳዎች መዋቅሮች ያሉ ውስብስብ ቅርጾች ያላቸውን ንጣፎች ለመሸፈን በጣም ተስማሚ ነው። ሽፋኑ በጥሩ ሁኔታ በተጣበቀ ፊልም ላይ ሊለጠፍ ይችላል። በፊልም ምስረታ ሂደት ውስጥ ባለው ከፍተኛ ሙቀት እና በፊልም ንጣፍ በይነገጽ ላይ ባለው ጠንካራ ማጣበቂያ ምክንያት የፊልም ንብርብር በጣም ጠንካራ ነው።

5. በጨረር የሚደርሰው ጉዳት በአንጻራዊ ሁኔታ ዝቅተኛ ሲሆን ከ MOS የተቀናጁ የወረዳ ሂደቶች ጋር ሊዋሃድ ይችላል።

——ይህ ጽሑፍ የታተመው በጓንግዶንግ ዠንሁዋ፣ ሀየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራች