CVD kaplama teknolojisi aşağıdaki özelliklere sahiptir:
1. CVD ekipmanının işlem işlemi nispeten basit ve esnektir ve farklı oranlarda tek veya kompozit filmler ve alaşım filmler hazırlayabilir;
2. CVD kaplamanın geniş bir uygulama yelpazesi vardır ve çeşitli metal veya metal film kaplamaları hazırlamak için kullanılabilir;
3. Dakikada birkaç mikrondan yüzlerce mikrona kadar değişen biriktirme hızları nedeniyle yüksek üretim verimliliği;
4. PVD yöntemiyle karşılaştırıldığında, CVD daha iyi kırınım performansına sahiptir ve oluklar, kaplanmış delikler ve hatta kör delik yapıları gibi karmaşık şekillere sahip alt tabakaların kaplanması için çok uygundur.Kaplama, iyi kompaktlığa sahip bir film halinde kaplanabilir.Film oluşturma işlemi sırasındaki yüksek sıcaklık ve film substrat arayüzündeki güçlü yapışma nedeniyle, film tabakası çok sağlamdır.
5. Radyasyonun neden olduğu hasar nispeten düşüktür ve MOS entegre devre işlemleriyle entegre edilebilir.
——Bu makale Guangdong Zhenhua tarafından yayınlanmıştır.vakumlu kaplama makinesi üreticisi
Gönderim zamanı: 29 Mart 2023