CVD kaplama teknolojisi aşağıdaki özelliklere sahiptir:
1. CVD ekipmanının işlem operasyonu nispeten basit ve esnektir ve farklı oranlarda tekli veya kompozit filmler ve alaşım filmler hazırlayabilir;
2. CVD kaplama geniş bir uygulama alanına sahiptir ve çeşitli metal veya metal film kaplamalarının hazırlanmasında kullanılabilir;
3. Dakikada birkaç mikrondan yüzlerce mikrona kadar değişen biriktirme hızları sayesinde yüksek üretim verimliliği;
4. PVD yöntemiyle karşılaştırıldığında, CVD daha iyi kırınım performansına sahiptir ve oluklar, kaplanmış delikler ve hatta kör delik yapıları gibi karmaşık şekillere sahip alt tabakaların kaplanması için çok uygundur. Kaplama, iyi bir yoğunluğa sahip bir film haline getirilebilir. Film oluşturma işlemi sırasında yüksek sıcaklık ve film-alt tabaka arayüzündeki güçlü yapışma nedeniyle, film tabakası çok sağlamdır.
5. Radyasyonun neden olduğu hasar nispeten düşüktür ve MOS entegre devre süreçleriyle entegre edilebilir.
—Bu makale Guangdong Zhenhua tarafından yayınlanmıştır.vakum kaplama makinesi üreticisi
Yayın tarihi: 29 Mart 2023