Ko te hangarau whakakikorua CVD nga ahuatanga e whai ake nei:
1. Ko te mahi tukanga o nga taputapu CVD he mea ngawari me te ngawari, a ka taea e ia te whakarite i nga kiriata kotahi, i te hiato ranei me nga kiriata whakarewa me nga waahanga rereke;
2. Ko te paninga CVD he maha nga momo tono, ka taea te whakamahi ki te whakarite i nga momo whakarewa, whakarewa kiriata ranei;
3. He tino pai te whakaputa na te reiti waipara mai i te iti moroiti ki te rau moroiti ia meneti;
4. Ka whakatauritea ki te tikanga PVD, he pai ake te mahi rerekee o te CVD me te tino pai mo nga taputapu whakakikorua me nga ahua uaua, penei i nga awaawa, nga kohao kapi, tae noa ki nga hanganga poka matapo.Ka taea te whakakikorua i te paninga ki roto i te kiriata me te pai o te ngawari.Na te nui o te pāmahana i te wa o te hanga kiriata, me te kaha o te piri ki runga i te atanga papaa kiriata, he tino pakari te paparanga kiriata.
5. Ko te kino i puta mai i te iraruke he iti noa, ka taea te whakauru ki nga tukanga ara iahiko MOS.
——Na Guangdong Zhenhua, akaihanga miihini whakakikorua korehau
Te wa tuku: Maehe-29-2023