CVD каплау технологиясе түбәндәге үзенчәлекләргә ия:
1. CVD җиһазларының процессы чагыштырмача гади һәм сыгылмалы, һәм ул төрле пропорцияләрдәге бер яки композит пленкалар һәм эретмә пленкалар әзерли ала;
2. CVD каплавы киң кулланылышка ия, һәм төрле металл яки металл пленка каплауларын әзерләү өчен кулланылырга мөмкин;
3. Берничә микроннан алып йөзләгән микронга кадәр утыру тизлеге аркасында югары җитештерү нәтиҗәлелеге;
4. PVD ысулы белән чагыштырганда, CVD дифракция күрсәткечләре яхшырак һәм катлаулы формадагы субстратларны, мәсәлән, чокырларны, капланган тишекләрне һәм хәтта сукыр тишек структураларын каплау өчен бик яраклы. Каплауны яхшы компактлы пленкага капларга мөмкин. Пленка формалаштыру процессында югары температура һәм пленка субстраты өслегенә нык ябышу аркасында пленка катламы бик нык.
5. Нурланыш китергән зыян чагыштырмача аз һәм MOS интеграль схема процесслары белән интеграцияләнергә мөмкин.
——Бу мәкалә Гуандун Чжэньхуа тарафыннан бастырылган,вакуум каплау машинасы җитештерүчесе
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 29 марты