CVD örtük tehnologiýasy aşakdaky aýratynlyklara eýedir:
1.
2. CVD örtüginiň köp sanly amaly bar we dürli metal ýa-da metal film örtükleri taýýarlamak üçin ulanylyp bilner;
3. Bir minutda birnäçe mikrondan ýüzlerçe mikrona çenli çöketlik derejesi sebäpli ýokary önümçilik netijeliligi;
4. PVD usuly bilen deňeşdirilende, CVD has gowy difraksiýa ýerine ýetirijiligine eýedir we çukurlar, örtükli deşikler we hatda kör deşik gurluşlary ýaly çylşyrymly şekilli substratlary örtmek üçin örän amatlydyr. Örtük gowy ykjamlyk bilen filme örtülip bilner. Filmiň emele geliş döwründe ýokary temperatura we filmiň substrat interfeýsine berk ýapyşmagy sebäpli film gatlagy gaty berkdir
5. Radiasiýa sebäpli ýetirilen zyýan birneme pes we MOS integral zynjyr amallary bilen birleşdirilip bilner.
—— Bu makala Guangdong Zhenhua, avakuum örtük maşyn öndürijisi
Iş wagty: Mart-29-2023