วิธีกระบวนการในการปรับปรุงความแข็งแรงเชิงกลของชั้นฟิล์ม

คุณสมบัติทางกลของชั้นเมมเบรนได้รับผลกระทบจากการยึดเกาะ ความเครียด ความหนาแน่นของการรวมตัวกัน ฯลฯ จากความสัมพันธ์ระหว่างวัสดุชั้นเมมเบรนและปัจจัยกระบวนการ จะเห็นได้ว่าหากเราต้องการปรับปรุงความแข็งแรงทางกลของชั้นเมมเบรน เราควรเน้นที่พารามิเตอร์กระบวนการต่อไปนี้:

(1) ระดับสูญญากาศ สูญญากาศมีผลต่อประสิทธิภาพของฟิล์มอย่างเห็นได้ชัด ตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพของชั้นฟิล์มส่วนใหญ่นั้นขึ้นอยู่กับระดับสูญญากาศ โดยปกติ เมื่อระดับสูญญากาศเพิ่มขึ้น ความหนาแน่นของการรวมตัวของฟิล์มจะเพิ่มขึ้น ความแน่นจะเพิ่มขึ้น โครงสร้างฟิล์มจะดีขึ้น องค์ประกอบทางเคมีจะบริสุทธิ์ขึ้น แต่ในขณะเดียวกัน ความเครียดก็เพิ่มขึ้นเช่นกัน

(2) อัตราการสะสม การปรับปรุงอัตราการสะสมไม่เพียงแต่สามารถใช้เพื่อปรับปรุงอัตราการระเหยได้เท่านั้น นั่นคือ เพิ่มแนวทางอุณหภูมิแหล่งระเหย สามารถใช้เพื่อเพิ่มแนวทางพื้นที่แหล่งระเหยเพื่อให้บรรลุผลได้ แต่การใช้แหล่งระเหยเพื่อเพิ่มอุณหภูมิของแนวทางมีข้อเสียคือ ทำให้ชั้นเมมเบรนมีความเครียดมากเกินไป ก๊าซที่สร้างฟิล์มจะสลายตัวได้ง่าย ดังนั้น บางครั้งการเพิ่มพื้นที่แหล่งระเหยจึงดีกว่าการปรับปรุงอุณหภูมิแหล่งระเหย

(3) อุณหภูมิพื้นผิว การเพิ่มอุณหภูมิพื้นผิวจะเอื้อต่อการดูดซับโมเลกุลก๊าซที่เหลือบนพื้นผิวพื้นผิวเพื่อแยกออก เพิ่มพื้นผิวและแรงยึดเกาะระหว่างโมเลกุลที่สะสม: ในเวลาเดียวกันจะส่งเสริมการแปลงการดูดซับทางกายภาพเป็นการดูดซับทางเคมี เพิ่มปฏิสัมพันธ์ระหว่างโมเลกุล ทำให้โครงสร้างชั้นเมมเบรนแน่น ตัวอย่างเช่น แมกนีเซียม เมมเบรน การให้ความร้อนพื้นผิวถึง 250 ~ 300 ℃ สามารถลดความเครียดภายใน ปรับปรุงความหนาแน่นของการรวมตัว เพิ่มความแข็งของชั้นเมมเบรน: การให้ความร้อนพื้นผิวถึง 120 ~ 150 ℃ เตรียม Zr03-Si02 เมมเบรนหลายชั้น ความแข็งแรงเชิงกลเพิ่มขึ้นมาก แต่อุณหภูมิพื้นผิวที่สูงเกินไปจะทำให้ชั้นเมมเบรนเสื่อมสภาพ

(4) การยิงไอออน การยิงไอออนมีผลต่อการสร้างพื้นผิวที่มีการยึดเกาะสูง ความหยาบของพื้นผิว การเกิดออกซิเดชัน และความหนาแน่นของการรวมตัว การยิงไอออนก่อนการเคลือบสามารถทำความสะอาดพื้นผิวและเพิ่มการยึดเกาะได้ การยิงไอออนหลังการเคลือบสามารถปรับปรุงความหนาแน่นของการรวมตัวของชั้นฟิล์ม เป็นต้น จึงเพิ่มความแข็งแรงเชิงกลและความแข็ง

(5) การทำความสะอาดพื้นผิว วิธีการทำความสะอาดพื้นผิวไม่เหมาะสมหรือไม่สะอาด สิ่งสกปรกที่ตกค้างหรือสารทำความสะอาดในพื้นผิวจะทำให้เกิดมลภาวะใหม่ และทำให้การยึดเกาะและการยึดเกาะของชั้นเคลือบแตกต่างกัน ส่งผลกระทบต่อคุณสมบัติโครงสร้างและความหนาของชั้นเคลือบแรก และยังทำให้ชั้นฟิล์มหลุดออกจากพื้นผิวได้ง่าย ทำให้คุณสมบัติของชั้นฟิล์มเปลี่ยนไป

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว