Teknologjia e veshjes me vakum është një teknologji që depoziton materiale me film të hollë mbi sipërfaqen e materialeve substrate në një mjedis vakumi, e cila përdoret gjerësisht në elektronikë, optikë, paketim, dekorim dhe fusha të tjera. Pajisjet e veshjes me vakum mund të ndahen kryesisht në llojet e mëposhtme:
1. Pajisjet e veshjes me avullim termik: kjo është metoda më tradicionale e veshjes me vakum, duke ngrohur materialin e filmit të hollë në anijen e avullimit, materiali avullohet dhe depozitohet në sipërfaqen e materialit të substratit.
2. Pajisjet e veshjes me spërkatje: duke përdorur jone me energji të lartë për të goditur sipërfaqen e materialit të synuar, atomet e materialit të synuar spërkaten dhe depozitohen në materialin e substratit. Spërkatja magnetronike është në gjendje të sigurojë ngjitje më uniforme dhe më të fortë të filmit, të përshtatshme për prodhim masiv.
3. Pajisjet e depozitimit me rreze jonike: Rrezet jonike përdoren për të depozituar materiale me film të hollë mbi substrat. Kjo metodë mund të sigurojë filma shumë uniformë dhe është e përshtatshme për raste me kërkesa për precizion të lartë, por kostoja e pajisjeve është e lartë.
4. Pajisjet e Depozitimit Kimik të Avujve (CVD): Formon filma të hollë në sipërfaqen e materialit të substratit nëpërmjet një reaksioni kimik. Kjo metodë mund të përgatisë filma me cilësi të lartë, me shumë specie, por pajisjet janë komplekse dhe të kushtueshme.
5. Pajisjet e Epitaksise me Rreze Molekulare (MBE): Kjo është një metodë për të kontrolluar rritjen e filmave të hollë në nivel atomik dhe përdoret kryesisht për përgatitjen e shtresave ultra të holla dhe strukturave shumështresore për aplikime gjysmëpërçuese dhe nanoteknologjike.
6. Pajisjet e Depozitimit Kimik të Avujve të Përmirësuar me Plazmë (PECVD): Kjo është një teknikë që përdor plazmën për të përmirësuar depozitimin e filmave të hollë me anë të një reaksioni kimik, duke lejuar formimin e shpejtë të filmave të hollë në temperatura më të ulëta.
7. Pajisjet e Depozitimit me Lazer të Pulsuar (PLD): Këto përdorin pulse lazeri me energji të lartë për të goditur një objektiv, për të avulluar materialin nga sipërfaqja e objektivit dhe për ta depozituar atë në një substrat, dhe janë të përshtatshme për rritjen e filmave oksidikë kompleksë me cilësi të lartë.
Secila prej këtyre pajisjeve ka karakteristikat e veta në projektim dhe funksionim dhe është e përshtatshme për aplikime të ndryshme industriale dhe fusha kërkimore. Me zhvillimin e teknologjisë, teknologjia e veshjes me vakum po përparon gjithashtu, dhe po shfaqen edhe pajisje të reja të veshjes me vakum.
– Ky artikull është publikuar ngamakinë veshjeje me vakumprodhuesi Guangdong Zhenhua
Koha e postimit: 12 qershor 2024