Teknologjia e veshjes CVD ka karakteristikat e mëposhtme:
1. Procesi i funksionimit të pajisjeve CVD është relativisht i thjeshtë dhe fleksibël, dhe mund të përgatisë filma të vetëm ose të përbërë dhe filma aliazh me përmasa të ndryshme;
2. Veshje CVD ka një gamë të gjerë aplikimesh dhe mund të përdoret për të përgatitur veshje të ndryshme metalike ose filmash metalikë;
3. Efikasitet i lartë prodhimi për shkak të shkallëve të depozitimit që variojnë nga disa mikronë deri në qindra mikronë në minutë;
4. Krahasuar me metodën PVD, CVD ka performancë më të mirë difraksioni dhe është shumë i përshtatshëm për veshjen e substrateve me forma komplekse, siç janë brazdat, vrimat e veshura dhe madje edhe strukturat e vrimave të verbëra. Veshje mund të mbulohet me një film me kompaktësi të mirë. Për shkak të temperaturës së lartë gjatë procesit të formimit të filmit dhe ngjitjes së fortë në ndërfaqen e substratit të filmit, shtresa e filmit është shumë e fortë.
5. Dëmi i shkaktuar nga rrezatimi është relativisht i ulët dhe mund të integrohet me proceset e qarqeve të integruara MOS.
——Ky artikull është botuar nga Guangdong Zhenhua, njëprodhuesi i makinës së veshjes me vakum
Koha e postimit: 29 Mars 2023