ဖုန်စုပ်စုပ်ယူခြင်းကို "လေဟာနယ်စုပ်ခြင်း" ဟုလည်းခေါ်သည်၊ ၎င်းသည် ကွန်တိန်နာအတွင်းရှိလေကိုဖယ်ရှားရန်အတွက် မတူညီသောဖုန်စုပ်ပန့်များအသုံးပြုခြင်းကိုရည်ညွှန်းကာ အာကာသအတွင်းရှိဖိအားသည် လေထုတစ်ခုအောက်သို့ကျဆင်းသွားစေရန်ဖြစ်သည်။ လက်ရှိတွင်၊ rotary vane mechanical vacuum pumps၊ Roots pumps၊ oil diffusion pumps၊ composite molecular pumps၊ molecular sieve adsorption pumps၊ titanium sublimation pumps၊ sputtering ion pumps နှင့် cryogenic pumps စသည်တို့အပါအဝင် အသုံးများသော လေဟာနယ်နှင့် အသုံးများသော စက်ပစ္စည်းများကို ရရှိရန်။ ဤပန့်များတွင် ပထမပန့်လေးခုကို ဓာတ်ငွေ့လွှဲပြောင်းပန့်များ (transfer vacuum pumps) များအဖြစ် အမျိုးအစားခွဲခြားထားပြီး ဆိုလိုသည်မှာ ဓာတ်ငွေ့မော်လီကျူးများကို လေဟာနယ်ပန့်ထဲသို့ စဉ်ဆက်မပြတ်စုပ်ယူနေပြီး ဘေးလွတ်ရာကို ပြင်ပပတ်ဝန်းကျင်သို့ စွန့်ထုတ်လိုက်ခြင်းဖြစ်သည်။ နောက်ဆုံးပန့်လေးခုကို လိုအပ်သော လေဟာနယ်ကိုရရှိရန် ပန့်တက်ခန်း၏အတွင်းနံရံတွင် မော်လီကျူးများ ပေါင်းစည်းထားသော သို့မဟုတ် ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့် ချိတ်ဆက်ထားသည့် ဓာတ်ငွေ့ဖမ်းပန့်များ (capture vacuum pumps) အဖြစ် အမျိုးအစားခွဲခြားထားသည်။ Gas-capture pumps များကို oil-free vacuum pumps ဟုလည်း ခေါ်ဝေါ်ကြပြီး ၎င်းတို့သည် ဆီအလုပ်လုပ်သော ကြားခံအဖြစ် အသုံးမပြုသောကြောင့် ဖြစ်သည်။ ဓာတ်ငွေ့ကို အပြီးတိုင်ဖယ်ရှားပေးသည့် လွှဲပြောင်းပန့်များနှင့်မတူဘဲ အချို့သော ဖမ်းယူထားသော ပန့်များသည် အပူပေးသည့်လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း စုဆောင်းထားသော သို့မဟုတ် နို့ဆီဓာတ်ငွေ့များကို စနစ်ထဲသို့ ပြန်လည်ထုတ်လွှတ်နိုင်စေပါသည်။
Transfer vacuum pumps များကို အဓိက အမျိုးအစား နှစ်မျိုး ခွဲခြားထားသည်- volumetric နှင့် momentum transfer တို့ ဖြစ်သည်။ Volumetric transfer pumps များတွင် များသောအားဖြင့် rotary vane mechanical pumps၊ liquid ring pumps၊ reciprocating pumps နှင့် Roots pumps များ ပါဝင်ပါသည်။ အရှိန်အဟုန်ဖြင့် ကူးပြောင်းသည့် လေဟာနယ်ပန့်များတွင် အများအားဖြင့် မော်လီကျူးပန့်များ၊ ဂျက်ပန့်များ၊ ဆီပျံ့သည့်ပန့်များ ပါဝင်သည်။ ဖုန်စုပ်စုပ်စက်များတွင် များသောအားဖြင့် အပူချိန်နိမ့်သော စုပ်ယူမှုနှင့် sputtering ion pump များ ပါဝင်သည်။
ယေဘူယျအားဖြင့်၊ အပေါ်ယံပိုင်း လုပ်ငန်းစဉ်သည် ကွဲပြားသည်၊ ဖုန်စုပ်မှုအခန်းအတွင်း လေဟာနယ်သည် မတူညီသောအဆင့်သို့ ရောက်ရှိသင့်ပြီး ဖုန်စုပ်နည်းပညာတွင် ၎င်း၏အဆင့်ကို ဖော်ပြရန်အတွက် နောက်ခံလေဟာနယ် (ပင်ကိုယ်လေဟာနယ်ဟုလည်း ခေါ်သည်) သို့ ပိုမိုရောက်ရှိပါသည်။ နောက်ခံလေဟာနယ်သည် အမြင့်ဆုံးလေဟာနယ်၏အပေါ်ယံပိုင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် ဖုန်စုပ်ပန့်မှတစ်ဆင့် လေဟာနယ်ကိုရည်ညွှန်းပြီး အမြင့်ဆုံးလေဟာနယ်၏အရွယ်အစားနှင့် လေဟာနယ်၏စုပ်ယူနိုင်မှုအပေါ်အဓိကအားဖြင့်မူတည်သည်။ Vacuum coating room သည် ၎င်း၏ ဖုန်စုပ်စနစ်ဖြင့် အမြင့်ဆုံးသို့ ရောက်ရှိနိုင်ပြီး လေဟာနယ်ကို limit vacuum (သို့မဟုတ် limit pressure) ဟုခေါ်သည်။ ဇယား 1-2 သည် သာမန်လေဟာနယ်ပန့်များ နှင့် ရရှိနိုင်သော အဆုံးစွန်သော ဖိအားအချို့ကို ဖော်ပြပါသည်။ ဇယား၏အရိပ်အပိုင်းများသည် အခြားစက်ကိရိယာများနှင့် ပေါင်းစပ်အသုံးပြုသည့်အခါ ဖုန်စုပ်ပန့်တစ်ခုစီမှ ရရှိနိုင်သော ဖိအားများကို ကိုယ်စားပြုသည်။
- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
စာတိုက်အချိန်- သြဂုတ်-၃၀-၂၀၂၄