Ý nghĩa của việc bơm chân không

Việc tạo chân không, còn được gọi là "bơm chân không", đề cập đến việc sử dụng các loại bơm chân không khác nhau để loại bỏ không khí bên trong vật chứa, sao cho áp suất bên trong không gian giảm xuống dưới một atm. Hiện nay, để tạo chân không, các thiết bị thường được sử dụng bao gồm bơm chân không cơ khí cánh quay, bơm Roots, bơm khuếch tán dầu, bơm phân tử composite, bơm hấp phụ sàng phân tử, bơm thăng hoa titan, bơm ion phun và bơm đông lạnh, v.v. Trong số các loại bơm này, bốn loại bơm đầu tiên được phân loại là bơm chuyển khí (bơm chân không chuyển tiếp), có nghĩa là các phân tử khí được hút liên tục vào bơm chân không và thải ra môi trường bên ngoài để thực hiện việc hút chân không; bốn loại bơm cuối cùng được phân loại là bơm thu khí (bơm chân không thu khí), trong đó các phân tử khí được ngưng tụ hoặc liên kết hóa học trên thành trong của buồng bơm để đạt được chân không cần thiết. Bơm thu khí còn được gọi là bơm chân không không dầu vì chúng không sử dụng dầu làm môi chất làm việc. Không giống như các loại bơm chuyển khí, vốn loại bỏ khí vĩnh viễn, một số loại bơm thu khí có thể đảo chiều, cho phép khí đã thu hoặc ngưng tụ được thải trở lại hệ thống trong quá trình gia nhiệt.
Máy bơm chân không chuyển tiếp được chia thành hai loại chính: chuyển tiếp thể tích và chuyển tiếp động lượng. Máy bơm chuyển tiếp thể tích thường bao gồm các loại bơm cơ khí cánh quay, bơm vòng chất lỏng, bơm piston và bơm Roots; máy bơm chân không chuyển tiếp động lượng thường bao gồm bơm phân tử, bơm tia, bơm khuếch tán dầu. Máy bơm chân không thu giữ thường bao gồm bơm hấp phụ nhiệt độ thấp và bơm ion phun.
Nhìn chung, quy trình phủ khác nhau, độ chân không trong buồng phủ chân không cần đạt đến các mức khác nhau, và trong công nghệ chân không, người ta thường dùng độ chân không nền (còn gọi là chân không nội tại) để thể hiện mức độ của nó. Độ chân không nền đề cập đến độ chân không trong buồng phủ chân không được bơm bằng bơm chân không để đáp ứng nhu cầu của quá trình phủ, và độ lớn của độ chân không này chủ yếu phụ thuộc vào công suất bơm chân không. Độ chân không cao nhất mà hệ thống chân không của buồng phủ chân không có thể đạt được được gọi là độ chân không giới hạn (hoặc áp suất giới hạn). Bảng 1-2 liệt kê phạm vi áp suất làm việc của một số bơm chân không thông dụng và áp suất tối đa có thể đạt được. Phần được tô bóng trong bảng thể hiện áp suất có thể đạt được bởi mỗi bơm chân không khi được sử dụng kết hợp với các thiết bị khác.

–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa