Вакуум гарган авахыг "вакуум шахах" гэж нэрлэдэг бөгөөд энэ нь савны доторх агаарыг зайлуулахын тулд янз бүрийн вакуум шахуургыг ашиглахыг хэлдэг бөгөөд ингэснээр орон зайн доторх даралт нэг атмосферээс доош буурдаг. Одоогийн байдлаар вакуум авахын тулд эргэлдэгч сэнсний механик вакуум шахуурга, Roots шахуурга, газрын тосны диффузийн шахуурга, нийлмэл молекулын шахуурга, молекулын шигшүүрийн адсорбцийн шахуурга, титан сублимацийн шахуурга, шүршигч ионы шахуурга, криогенийн шахуурга гэх мэт түгээмэл хэрэглэгддэг төхөөрөмжүүдийг ашигладаг. Эдгээр шахуургад эхний дөрвөн шахуургыг хийн дамжуулах шахуурга (шилжүүлэх вакуум шахуурга) гэж ангилдаг бөгөөд энэ нь хийн молекулуудыг вакуум шахуурга руу тасралтгүй соруулж, гадаад орчинд гаргаж, нүүлгэн шилжүүлэлтийг хийдэг гэсэн үг юм; сүүлийн дөрвөн шахуургыг хийн барих шахуурга (барих вакуум шахуурга) гэж ангилдаг бөгөөд эдгээр нь шаардлагатай вакуумыг авахын тулд шахах камерын дотор хананд молекулын конденсацлагдсан эсвэл химийн холбоогоор холбогддог. Хий барих шахуургыг мөн тосыг ажлын орчин болгон ашигладаггүй тул тосгүй вакуум шахуурга гэж нэрлэдэг. Хийийг бүрмөсөн зайлуулдаг дамжуулах шахуургаас ялгаатай нь зарим барих шахуургууд нь эргэлт буцалтгүй бөгөөд цуглуулсан эсвэл конденсацлагдсан хийг халаах явцад систем рүү буцааж хаях боломжийг олгодог.
Шилжүүлэгч вакуум насосыг эзэлхүүн ба импульсийн дамжуулалт гэсэн хоёр үндсэн ангилалд хуваадаг. Эзэлхүүн дамжуулах насосуудад ихэвчлэн эргэлдэгч сэнсний механик насос, шингэн цагираг насос, солилцох насос болон Рүүтс насос багтдаг; импульсийн дамжуулах вакуум насосуудад ихэвчлэн молекул насос, тийрэлтэт насос, тосны диффузийн насос багтдаг. Барих вакуум насосуудад ихэвчлэн бага температурт адсорбци ба цацлагатай ионы насос багтдаг.
Ерөнхийдөө бүрэх процесс нь өөр өөр байдаг бөгөөд вакуум бүрэх камерын вакуум нь өөр өөр түвшинд хүрэх ёстой бөгөөд вакуум технологид түүний түвшинг илэрхийлэхийн тулд дэвсгэр вакуум (дотоод вакуум гэгддэг) илүү ихийг ашигладаг. Дэвсгэр вакуум гэдэг нь хамгийн өндөр вакуум бүхий бүрэх процессын хэрэгцээг хангахын тулд вакуум насосоор дамжуулан вакуум бүрэх камерын вакуумыг хэлдэг бөгөөд энэ вакуумын хэмжээ нь голчлон вакуум шахах хүчин чадлаас хамаарна. Вакуум бүрэх өрөөний вакуум нь вакуум системийн вакуумаар хамгийн өндөр вакуумд хүрч чаддаг бөгөөд үүнийг хязгаарын вакуум (эсвэл хязгаарын даралт) гэж нэрлэдэг. Хүснэгт 1-2-т зарим түгээмэл вакуум насосын ажлын даралтын хүрээ болон авах боломжтой эцсийн даралтыг жагсаасан болно. Хүснэгтийн сүүдэртэй хэсгүүд нь бусад тоног төхөөрөмжтэй хослуулан ашиглах үед вакуум насос тус бүрээр авах боломжтой даралтыг илэрхийлнэ.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 8-р сарын 30