Uzyskiwanie próżni jest również znane jako „pompowanie próżniowe”, co odnosi się do użycia różnych pomp próżniowych w celu usunięcia powietrza z pojemnika, tak aby ciśnienie w przestrzeni spadło poniżej jednej atmosfery. Obecnie, aby uzyskać próżnię, powszechnie stosuje się urządzenia, takie jak obrotowe łopatkowe mechaniczne pompy próżniowe, pompy Rootsa, pompy dyfuzyjne oleju, pompy molekularne kompozytowe, pompy adsorpcyjne z sitem molekularnym, pompy sublimacyjne tytanu, pompy jonowe rozpylające oraz pompy kriogeniczne i tak dalej. W tych pompach pierwsze cztery pompy są klasyfikowane jako pompy transferowe gazu (transferowe pompy próżniowe), co oznacza, że cząsteczki gazu są stale zasysane do pompy próżniowej i odprowadzane do środowiska zewnętrznego w celu przeprowadzenia ewakuacji; ostatnie cztery pompy są klasyfikowane jako pompy wychwytujące gaz (wychwytujące pompy próżniowe), które są molekularnie skondensowane lub chemicznie związane na wewnętrznej ścianie komory pompującej w celu uzyskania wymaganej próżni. Pompy wychwytujące gaz są również nazywane bezolejowymi pompami próżniowymi, ponieważ nie wykorzystują oleju jako medium roboczego. W przeciwieństwie do pomp transferowych, które trwale usuwają gaz, niektóre pompy wychwytujące są odwracalne, co pozwala na odprowadzenie zebranego lub skroplonego gazu z powrotem do układu podczas procesu ogrzewania.
Pompy próżniowe transferowe dzielą się na dwie główne kategorie: objętościowe i transferowe. Objętościowe pompy transferowe zazwyczaj obejmują mechaniczne pompy łopatkowe, pompy z pierścieniem cieczowym, pompy tłokowe i pompy Rootsa; pompy próżniowe transferowe zazwyczaj obejmują pompy molekularne, pompy strumieniowe i pompy dyfuzyjne oleju. Pompy próżniowe wychwytujące zazwyczaj obejmują pompy adsorpcyjne niskotemperaturowe i pompy jonowe z rozpylaniem jonowym.
Ogólnie rzecz biorąc, proces powlekania jest inny, próżnia w komorze próżniowej powinna osiągać różne poziomy, a w technologii próżniowej bardziej odnosi się do próżni tła (znanej również jako próżnia wewnętrzna), aby wyrazić jej poziom. Próżnia tła odnosi się do próżni komory próżniowej poprzez pompę próżniową, aby sprostać potrzebom procesu powlekania najwyższej próżni, a wielkość tej próżni zależy głównie od wydajności pompowania próżniowego. Komora próżniowa dzięki swojemu systemowi próżniowemu może osiągnąć najwyższą próżnię, nazywaną próżnią graniczną (lub ciśnieniem granicznym). Tabela 1-2 przedstawia zakres ciśnienia roboczego niektórych popularnych pomp próżniowych i maksymalne ciśnienie, jakie można uzyskać. Zacieniowane części tabeli reprezentują ciśnienia, które można uzyskać za pomocą każdej pompy próżniowej w połączeniu z innym sprzętem.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 30 sierpnia 2024 r.