Het creëren van een vacuüm, ook wel "vacuümpompen" genoemd, verwijst naar het gebruik van verschillende vacuümpompen om de lucht in een container te verwijderen, zodat de druk in de ruimte daalt tot onder één atmosfeer. Momenteel worden hiervoor diverse apparaten gebruikt, waaronder roterende schottenpompen, Roots-pompen, oliediffusiepompen, composietmoleculaire pompen, moleculaire zeefadsorptiepompen, titaniumsublimatiepompen, sputterionenpompen en cryogene pompen. Van deze pompen worden de eerste vier geclassificeerd als gastransportpompen (transfervacuümpompen), wat betekent dat gasmoleculen continu in de vacuümpomp worden gezogen en naar de buitenomgeving worden afgevoerd om het vacuüm te verkrijgen. De laatste vier worden geclassificeerd als gasvangpompen (vangvacuümpompen), waarbij gasmoleculen zich moleculair of chemisch binden aan de binnenwand van de pompkamer om het benodigde vacuüm te bereiken. Gasvangpompen worden ook wel olievrije vacuümpompen genoemd, omdat ze geen olie als werkmedium gebruiken. In tegenstelling tot transferpompen, die het gas permanent verwijderen, zijn sommige opvangpompen omkeerbaar, waardoor het opgevangen of gecondenseerde gas tijdens het verwarmingsproces weer in het systeem kan worden afgevoerd.
Vacuümpompen voor volumetransfer worden onderverdeeld in twee hoofdcategorieën: volumetrische en momentumtransferpompen. Volumetrische transferpompen omvatten doorgaans roterende schottenpompen, vloeistofringpompen, zuigerpompen en Roots-pompen; momentumtransferpompen omvatten doorgaans moleculaire pompen, straalpompen en oliediffusiepompen. Vacuümpompen voor afvang omvatten doorgaans adsorptiepompen bij lage temperaturen en sputter-ionenpompen.
Over het algemeen verschilt het coatingproces, en de vacuümdruk in de vacuümcoatingkamer moet verschillende niveaus bereiken. In de vacuümtechnologie wordt dit niveau meestal aangeduid met de achtergrondvacuüm (ook wel intrinsiek vacuüm genoemd). De achtergrondvacuüm verwijst naar het vacuüm in de vacuümcoatingkamer dat door de vacuümpomp wordt bereikt om aan de eisen van het coatingproces te voldoen. De grootte van dit vacuüm is voornamelijk afhankelijk van de capaciteit van de vacuümpomp. Het maximale vacuüm dat een vacuümcoatingkamer kan bereiken met behulp van het vacuümsysteem wordt het grensvacuüm (of grensdruk) genoemd. Tabel 1-2 toont het werkdrukbereik van enkele gangbare vacuümpompen en de maximaal haalbare druk. De gearceerde gedeelten in de tabel geven de drukken weer die met elke vacuümpomp in combinatie met andere apparatuur kunnen worden bereikt.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 30 augustus 2024