Vakuum olish "vakuum nasosi" deb ham ataladi, bu idish ichidagi havoni olib tashlash uchun turli xil vakuum nasoslaridan foydalanishni anglatadi, shunda bo'shliq ichidagi bosim bir atmosferadan pastga tushadi. Hozirgi vaqtda vakuumni olish uchun aylanma qanotli mexanik vakuum nasoslari, ildiz nasoslari, moy diffuziya nasoslari, kompozit molekulyar nasoslar, molekulyar elak adsorbsiya nasoslari, titan sublimatsiya nasoslari, purkash ion nasoslari va kriogen nasoslar va boshqalar kabi keng tarqalgan qurilmalar qo'llaniladi. Ushbu nasoslarda dastlabki to'rtta nasos gaz uzatish nasoslari (uzatish vakuum nasoslari) deb tasniflanadi, ya'ni gaz molekulalari doimiy ravishda vakuum nasosiga so'riladi va evakuatsiyani amalga oshirish uchun tashqi muhitga chiqariladi; oxirgi to'rtta nasos gazni ushlash nasoslari (ushlash vakuum nasoslari) deb tasniflanadi, ular kerakli vakuumni olish uchun nasos kamerasining ichki devoriga molekulyar ravishda kondensatsiyalanadi yoki kimyoviy bog'lanadi. Gazni ushlash nasoslari moysiz vakuum nasoslari deb ham ataladi, chunki ular moyni ishchi muhit sifatida ishlatmaydi. Gazni doimiy ravishda olib tashlaydigan uzatish nasoslaridan farqli o'laroq, ba'zi ushlash nasoslari qaytariladigan bo'lib, isitish jarayonida to'plangan yoki kondensatsiyalangan gazni tizimga qaytarishga imkon beradi.
Transfer vakuum nasoslari ikkita asosiy toifaga bo'linadi: hajmli va impulsli uzatish. Hajmli uzatish nasoslari odatda aylanma qanotli mexanik nasoslar, suyuq halqali nasoslar, o'zaro nasoslar va Roots nasoslarini o'z ichiga oladi; impulsli uzatish vakuum nasoslari odatda molekulyar nasoslar, reaktiv nasoslar, moy diffuziya nasoslarini o'z ichiga oladi. Tutqich vakuum nasoslari odatda past haroratli adsorbsiya va purkash ion nasoslarini o'z ichiga oladi.
Umuman olganda, qoplama jarayoni boshqacha, vakuum qoplama kamerasi vakuumi turli darajalarga yetishi kerak va vakuum texnologiyasida uning darajasini ifodalash uchun fon vakuumiga (shuningdek, ichki vakuum deb ham ataladi) ko'proq e'tibor qaratiladi. Fon vakuumi vakuum qoplama kamerasining vakuumini vakuum pompasi orqali eng yuqori vakuumning qoplama jarayoni ehtiyojlarini qondirish uchun anglatadi va bu vakuumning hajmi asosan vakuum nasos quvvatiga bog'liq. Vakuum qoplama xonasi vakuum tizimi orqali eng yuqori vakuumga yetishi mumkin bo'lgan vakuum chegara vakuumi (yoki chegara bosimi) deb ataladi. 1-2-jadvalda ba'zi keng tarqalgan vakuum nasoslarining ish bosimi diapazoni va olinishi mumkin bo'lgan maksimal bosim keltirilgan. Jadvalning soyali qismlari boshqa uskunalar bilan birgalikda ishlatilganda har bir vakuum pompasi tomonidan olinishi mumkin bo'lgan bosimlarni ifodalaydi.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 30-avgust