Получение вакуума также известно как «вакуумная откачка» и подразумевает использование различных вакуумных насосов для удаления воздуха из контейнера, так что давление внутри пространства падает ниже одной атмосферы. В настоящее время для получения вакуума широко используются такие устройства, как роторно-лопастные механические вакуумные насосы, насосы Рутса, масляные диффузионные насосы, комбинированные молекулярные насосы, адсорбционные насосы на молекулярных ситах, сублимационные насосы на титане, ионные насосы с распылением, криогенные насосы и т. д. Первые четыре типа насосов относятся к газоперекачивающим насосам (транспортным вакуумным насосам), что означает, что молекулы газа непрерывно всасываются в вакуумный насос и выводятся во внешнюю среду для осуществления откачки; последние четыре типа насосов относятся к газоуловительным насосам (уловительным вакуумным насосам), которые молекулярно конденсируются или химически связываются на внутренней стенке откачивающей камеры для получения необходимого вакуума. Насосы для улавливания газа также называют безмасляными вакуумными насосами, поскольку они не используют масло в качестве рабочей среды. В отличие от перекачивающих насосов, которые удаляют газ безвозвратно, некоторые насосы для улавливания газа являются реверсивными, что позволяет сбрасывать собранный или сконденсированный газ обратно в систему в процессе нагрева.
Вакуумные насосы для переноса жидкости делятся на две основные категории: объемные и импульсные. К объемным насосам обычно относятся роторно-лопастные механические насосы, жидкостно-кольцевые насосы, поршневые насосы и насосы Рутса; к импульсным вакуумным насосам обычно относятся молекулярные насосы, струйные насосы, масляные диффузионные насосы. К вакуумным насосам для захвата жидкости обычно относятся низкотемпературные адсорбционные и распылительные ионные насосы.
В целом, процесс нанесения покрытия различен, вакуум в вакуумной камере для нанесения покрытия должен достигать разных уровней, и в вакуумной технологии его уровень чаще выражается через фоновый вакуум (также известный как внутренний вакуум). Фоновый вакуум — это вакуум в вакуумной камере для нанесения покрытия, достигаемый с помощью вакуумного насоса и соответствующий самым высоким требованиям процесса нанесения покрытия, а величина этого вакуума в основном зависит от производительности вакуумного насоса. Максимальный вакуум, достигаемый вакуумной системой вакуумной камеры для нанесения покрытия, называется предельным вакуумом (или предельным давлением). В таблицах 1-2 приведены диапазоны рабочего давления некоторых распространенных вакуумных насосов и максимальное давление, которое может быть достигнуто. Заштрихованные области таблицы представляют собой давления, которые могут быть достигнуты каждым вакуумным насосом при использовании в сочетании с другим оборудованием.
– Данная статья опубликованапроизводитель вакуумных напыляемых машинГуандун Чжэньхуа
Дата публикации: 30 августа 2024 г.