진공 획득은 "진공 펌핑"이라고도 하며, 다양한 진공 펌프를 사용하여 용기 내부의 공기를 제거함으로써 내부 압력을 1기압 이하로 낮추는 것을 의미합니다. 현재 진공을 얻기 위해 일반적으로 사용되는 장치로는 로터리 베인 기계식 진공 펌프, 루트 펌프, 오일 확산 펌프, 복합 분자 펌프, 분자체 흡착 펌프, 티타늄 승화 펌프, 스퍼터링 이온 펌프, 극저온 펌프 등이 있습니다. 이러한 펌프 중 처음 네 가지는 기체 이송 펌프(이송 진공 펌프)로 분류되는데, 이는 기체 분자를 진공 펌프 내부로 지속적으로 흡입하여 외부로 배출함으로써 진공을 얻는 방식입니다. 나머지 네 가지는 기체 포집 펌프(포집 진공 펌프)로 분류되는데, 이는 펌핑 챔버 내부 벽에 분자를 응축시키거나 화학적으로 결합시켜 필요한 진공을 얻는 방식입니다. 가스 포집 펌프는 작동 매체로 오일을 사용하지 않기 때문에 오일프리 진공 펌프라고도 합니다. 가스를 영구적으로 제거하는 이송 펌프와 달리, 일부 포집 펌프는 가역식으로 작동하여 가열 과정 중에 포집되거나 응축된 가스를 시스템으로 다시 배출할 수 있습니다.
이송 진공 펌프는 크게 용적 이송형과 운동량 이송형의 두 가지 범주로 나뉩니다. 용적 이송형 펌프에는 일반적으로 로터리 베인 기계식 펌프, 액체 링 펌프, 왕복 펌프 및 루트 펌프가 포함됩니다. 운동량 이송형 진공 펌프에는 일반적으로 분자 펌프, 제트 펌프, 오일 확산 펌프가 포함됩니다. 포집형 진공 펌프에는 일반적으로 저온 흡착 및 스퍼터링 이온 펌프가 포함됩니다.
일반적으로 코팅 공정은 다양하며, 진공 코팅 챔버의 진공도는 각기 다른 수준에 도달해야 합니다. 진공 기술에서는 주로 배경 진공(또는 고유 진공)이라는 용어를 사용하여 그 수준을 표현합니다. 배경 진공이란 진공 펌프를 통해 코팅 공정에 필요한 최고 진공도를 충족하도록 진공 코팅 챔버에 형성하는 진공도를 말하며, 이 진공도의 크기는 주로 진공 펌프의 용량에 따라 결정됩니다. 진공 코팅실의 진공 시스템이 도달할 수 있는 최고 진공도를 한계 진공(또는 한계 압력)이라고 합니다. 표 1-2는 몇 가지 일반적인 진공 펌프의 작동 압력 범위와 얻을 수 있는 최대 압력을 나타냅니다. 표의 음영 부분은 다른 장비와 함께 사용할 때 각 진공 펌프가 얻을 수 있는 압력을 나타냅니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 8월 30일