การสร้างสุญญากาศ หรือที่รู้จักกันในชื่อ “การปั๊มสุญญากาศ” หมายถึงการใช้ปั๊มสุญญากาศชนิดต่างๆ เพื่อกำจัดอากาศภายในภาชนะ ทำให้ความดันภายในลดลงต่ำกว่าหนึ่งบรรยากาศ ปัจจุบัน อุปกรณ์ที่ใช้ในการสร้างสุญญากาศโดยทั่วไป ได้แก่ ปั๊มสุญญากาศแบบใบพัดหมุน ปั๊มรูทส์ ปั๊มกระจายน้ำมัน ปั๊มโมเลกุลแบบผสม ปั๊มดูดซับตะแกรงโมเลกุล ปั๊มระเหิดไทเทเนียม ปั๊มไอออนแบบสปัตเตอร์ และปั๊มไครโอเจนิก เป็นต้น ในบรรดาปั๊มเหล่านี้ ปั๊มสี่ชนิดแรกจัดอยู่ในประเภทปั๊มถ่ายโอนก๊าซ (ปั๊มสุญญากาศแบบถ่ายโอน) ซึ่งหมายความว่าโมเลกุลของก๊าซจะถูกดูดเข้าไปในปั๊มสุญญากาศอย่างต่อเนื่องและปล่อยออกสู่สภาพแวดล้อมภายนอกเพื่อทำให้เกิดการดูดอากาศออก ปั๊มสี่ชนิดหลังจัดอยู่ในประเภทปั๊มดักจับก๊าซ (ปั๊มสุญญากาศแบบดักจับ) ซึ่งใช้การควบแน่นของโมเลกุลหรือการยึดเกาะทางเคมีบนผนังด้านในของห้องปั๊มเพื่อให้ได้สุญญากาศที่ต้องการ ปั๊มดักจับก๊าซยังเรียกว่าปั๊มสุญญากาศแบบไร้น้ำมันเพราะไม่ใช้น้ำมันเป็นตัวกลางในการทำงาน ต่างจากปั๊มถ่ายโอนซึ่งกำจัดก๊าซออกไปอย่างถาวร ปั๊มดักจับก๊าซบางชนิดสามารถกลับทิศทางได้ ทำให้สามารถปล่อยก๊าซที่เก็บรวบรวมหรือควบแน่นแล้วกลับเข้าสู่ระบบได้ในระหว่างกระบวนการทำความร้อน
ปั๊มสุญญากาศแบบถ่ายโอนแบ่งออกเป็นสองประเภทหลัก ได้แก่ แบบถ่ายโอนปริมาตรและแบบถ่ายโอนโมเมนตัม ปั๊มแบบถ่ายโอนปริมาตรมักได้แก่ ปั๊มเชิงกลแบบใบพัดหมุน ปั๊มแบบวงแหวนของเหลว ปั๊มแบบลูกสูบ และปั๊มแบบรูทส์ ส่วนปั๊มสุญญากาศแบบถ่ายโอนโมเมนตัมมักได้แก่ ปั๊มโมเลกุล ปั๊มเจ็ท และปั๊มแบบแพร่กระจายน้ำมัน ปั๊มสุญญากาศแบบดักจับมักได้แก่ ปั๊มแบบดูดซับที่อุณหภูมิต่ำและปั๊มไอออนแบบสปัตเตอร์ริ่ง
โดยทั่วไป กระบวนการเคลือบนั้นแตกต่างกัน ระดับสุญญากาศในห้องเคลือบสุญญากาศควรอยู่ในระดับที่แตกต่างกัน และในเทคโนโลยีสุญญากาศนั้น มักจะใช้คำว่าสุญญากาศพื้นฐาน (หรือที่เรียกว่าสุญญากาศที่แท้จริง) เพื่อแสดงระดับของมัน สุญญากาศพื้นฐานหมายถึงสุญญากาศในห้องเคลือบสุญญากาศที่ได้จากปั๊มสุญญากาศเพื่อให้ได้ระดับสุญญากาศสูงสุดตามความต้องการของกระบวนการเคลือบ และขนาดของสุญญากาศนี้ขึ้นอยู่กับกำลังการสูบสุญญากาศเป็นหลัก ระดับสุญญากาศสูงสุดที่ระบบสุญญากาศในห้องเคลือบสามารถทำได้เรียกว่าสุญญากาศจำกัด (หรือแรงดันจำกัด) ตารางที่ 1-2 แสดงช่วงแรงดันใช้งานของปั๊มสุญญากาศทั่วไปบางชนิดและแรงดันสูงสุดที่สามารถทำได้ ส่วนที่แรเงาในตารางแสดงถึงแรงดันที่สามารถทำได้โดยปั๊มสุญญากาศแต่ละตัวเมื่อใช้ร่วมกับอุปกรณ์อื่นๆ
–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสุญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว
วันที่เผยแพร่: 30 สิงหาคม 2567