Kev tau txais lub tshuab nqus tsev kuj hu ua "lub tshuab nqus tsev", uas yog hais txog kev siv cov twj nqus tsev sib txawv los tshem tawm cov huab cua hauv lub thawv, kom lub siab hauv qhov chaw poob qis dua ib puag ncig. Tam sim no, txhawm rau kom tau txais lub tshuab nqus tsev thiab cov khoom siv feem ntau siv suav nrog lub tshuab nqus tsev rotary vane, Roots twj, roj diffusion twj, composite molecular twj, molecular sieve adsorption twj, titanium sublimation twj, sputtering ion twj thiab cryogenic twj thiab lwm yam. Hauv cov twj no, plaub lub twj thawj zaug tau muab faib ua cov twj hloov roj (cov twj nqus tsev hloov), uas txhais tau tias cov roj molecules raug nqus mus rau hauv lub twj nqus tsev thiab tso tawm mus rau ib puag ncig sab nraud kom paub txog kev tshem tawm; plaub lub twj kawg tau muab faib ua cov twj ntes roj (cov twj nqus tsev ntes), uas yog molecularly condensed lossis chemically bonded ntawm phab ntsa sab hauv ntawm lub twj tso kua mis kom tau txais lub tshuab nqus tsev xav tau. Cov twj ntes roj kuj hu ua cov twj nqus tsev tsis muaj roj vim tias lawv tsis siv roj ua haujlwm nruab nrab. Tsis zoo li cov twj hloov, uas tshem tawm cov roj tas mus li, qee lub twj ntes tuaj yeem thim rov qab, tso cai rau cov roj sau lossis condensed kom raug tso tawm rov qab rau hauv lub kaw lus thaum lub sijhawm ua kom sov.
Cov twj tso kua mis hloov pauv feem ntau muaj xws li cov twj siv tshuab rotary vane, cov twj siv kua, cov twj siv rov qab thiab cov twj siv Roots; cov twj siv tshuab hloov pauv feem ntau muaj xws li cov twj molecular, cov twj siv dav hlau, cov twj siv roj diffusion. Cov twj siv nqus tsev feem ntau muaj xws li cov twj siv adsorption kub tsawg thiab cov twj siv sputtering ion.
Feem ntau, cov txheej txheem txheej txheej txawv, lub tshuab nqus tsev txheej txheej yuav tsum ncav cuag ntau qib sib txawv, thiab hauv cov thev naus laus zis nqus tsev, ntau dua rau lub tshuab nqus tsev keeb kwm yav dhau (tseem hu ua lub tshuab nqus tsev intrinsic) los qhia nws qib. Lub tshuab nqus tsev keeb kwm yav dhau hais txog lub tshuab nqus tsev ntawm lub tshuab nqus tsev txheej txheej los ntawm lub twj tso kua mis kom tau raws li qhov xav tau ntawm cov txheej txheem txheej txheej ntawm lub tshuab nqus tsev siab tshaj plaws, thiab qhov loj ntawm lub tshuab nqus tsev no, feem ntau nyob ntawm lub peev xwm nqus tsev. Lub tshuab nqus tsev txheej txheej los ntawm nws lub tshuab nqus tsev lub tshuab nqus tsev tuaj yeem ncav cuag lub tshuab nqus tsev siab tshaj plaws hu ua lub tshuab nqus tsev txwv (lossis lub siab txwv). Rooj 1-2 teev cov qib siab ua haujlwm ntawm qee lub twj tso kua mis nqus tsev thiab qhov siab kawg uas tuaj yeem tau txais. Cov ntu ntxoov ntxoo ntawm lub rooj sawv cev rau cov siab uas tuaj yeem tau txais los ntawm txhua lub twj tso kua mis nqus tsev thaum siv ua ke nrog lwm yam khoom siv.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Yim Hli-30-2024
