L'ottenimento del vuoto è anche noto come "pompaggio del vuoto" e si riferisce all'utilizzo di diverse pompe per vuoto per rimuovere l'aria all'interno di un contenitore, in modo che la pressione interna scenda al di sotto di un'atmosfera. Attualmente, per ottenere il vuoto si utilizzano comunemente dispositivi come pompe per vuoto meccaniche a palette rotanti, pompe Roots, pompe a diffusione d'olio, pompe molecolari composite, pompe ad adsorbimento a setaccio molecolare, pompe a sublimazione di titanio, pompe ioniche a sputtering e pompe criogeniche. Tra queste pompe, le prime quattro sono classificate come pompe a trasferimento di gas (pompe per vuoto a trasferimento), il che significa che le molecole di gas vengono continuamente aspirate nella pompa per vuoto e scaricate nell'ambiente esterno per realizzare l'evacuazione; le ultime quattro sono classificate come pompe a cattura di gas (pompe per vuoto a cattura), che condensano molecolarmente o legano chimicamente il gas alla parete interna della camera di pompaggio per ottenere il vuoto richiesto. Le pompe a cattura di gas sono anche chiamate pompe per vuoto senza olio perché non utilizzano olio come fluido di lavoro. A differenza delle pompe di trasferimento, che rimuovono il gas in modo permanente, alcune pompe di cattura sono reversibili, consentendo di reintrodurre nel sistema il gas raccolto o condensato durante il processo di riscaldamento.
Le pompe per vuoto a trasferimento si dividono in due categorie principali: a trasferimento volumetrico e a trasferimento di quantità di moto. Le pompe a trasferimento volumetrico includono solitamente pompe meccaniche a palette rotanti, pompe ad anello liquido, pompe alternative e pompe Roots; le pompe per vuoto a trasferimento di quantità di moto includono solitamente pompe molecolari, pompe a getto e pompe a diffusione d'olio. Le pompe per vuoto a cattura includono solitamente pompe ad adsorbimento a bassa temperatura e pompe ioniche a sputtering.
In generale, il processo di rivestimento è diverso, il vuoto nella camera di rivestimento sottovuoto deve raggiungere diversi livelli e, nella tecnologia del vuoto, si fa riferimento al vuoto di fondo (anche noto come vuoto intrinseco) per esprimere il suo livello. Il vuoto di fondo si riferisce al vuoto nella camera di rivestimento sottovuoto che, tramite la pompa del vuoto, soddisfa le esigenze del processo di rivestimento, e l'entità di questo vuoto dipende principalmente dalla capacità di pompaggio del vuoto. Il vuoto massimo che la camera di rivestimento sottovuoto può raggiungere con il suo sistema di vuoto è chiamato vuoto limite (o pressione limite). La Tabella 1-2 elenca l'intervallo di pressione di lavoro di alcune pompe per vuoto comuni e la pressione massima che possono essere ottenute. Le porzioni ombreggiate della tabella rappresentano le pressioni che possono essere ottenute da ciascuna pompa per vuoto se utilizzata in combinazione con altre apparecchiature.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sottovuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 30 agosto 2024