真空を得ることは「真空ポンプ」とも呼ばれ、容器内の空気を除去するためにさまざまな真空ポンプを使用し、空間内の圧力を1気圧以下に下げることを指します。現在、真空を得るために一般的に使用されている装置には、ロータリーベーン式機械式真空ポンプ、ルーツポンプ、オイル拡散ポンプ、複合分子ポンプ、分子ふるい吸着ポンプ、チタン昇華ポンプ、スパッタリングイオンポンプ、極低温ポンプなどがあります。これらのポンプのうち、最初の4つのポンプはガス移送ポンプ（移送真空ポンプ）に分類され、ガス分子を真空ポンプ内に連続的に吸い込み、外部環境に排出することで排気を実現します。最後の4つのポンプはガス捕捉ポンプ（捕捉真空ポンプ）に分類され、ポンプ室の内壁に分子凝縮または化学結合させて必要な真空を得ます。ガス捕捉ポンプは作動媒体としてオイルを使用しないため、オイルフリー真空ポンプとも呼ばれます。ガスを永久的に除去する移送ポンプとは異なり、一部の捕集ポンプは可逆式であり、加熱プロセス中に収集または凝縮されたガスをシステム内に排出することができる。
移送式真空ポンプは、体積式と運動量式の2つの主要なカテゴリに分けられます。体積式移送ポンプには、通常、ロータリーベーン式メカニカルポンプ、液封式ポンプ、往復動ポンプ、ルーツポンプなどがあります。運動量式真空ポンプには、通常、分子ポンプ、ジェットポンプ、オイル拡散ポンプなどがあります。捕集式真空ポンプには、通常、低温吸着式およびスパッタリングイオンポンプなどがあります。
一般的に、コーティングプロセスはそれぞれ異なり、真空コーティングチャンバーの真空度も異なるレベルに達する必要があります。真空技術では、そのレベルを表すのに背景真空（固有真空とも呼ばれる）がよく用いられます。背景真空とは、真空ポンプによってコーティングプロセスに必要な最高真空度を満たす真空コーティングチャンバーの真空度を指し、この真空度の大きさは主に真空ポンプの能力に依存します。真空コーティング室が真空システムによって到達できる最高真空度を限界真空（または限界圧力）と呼びます。表1-2は、一般的な真空ポンプの動作圧力範囲と得られる最大圧力を示しています。表の網掛け部分は、各真空ポンプを他の機器と組み合わせて使用した場合に得られる圧力を表しています。
–この記事は以下によって公開されています真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時：2024年8月30日