Kahulugan ng vacuum pumping

Ang vacuum obtaining ay kilala rin bilang "vacuum pumping", na tumutukoy sa paggamit ng iba't ibang vacuum pump upang alisin ang hangin sa loob ng lalagyan, upang ang presyon sa loob ng espasyo ay bumaba sa ibaba ng isang atmospera. Sa kasalukuyan, upang makuha ang vacuum at karaniwang ginagamit na mga aparato kabilang ang rotary vane mechanical vacuum pumps, Roots pumps, oil diffusion pumps, composite molecular pumps, molecular sieve adsorption pumps, titanium sublimation pumps, sputtering ion pumps at cryogenic pumps at iba pa. Sa mga pump na ito, ang unang apat na pump ay ikinategorya bilang gas transfer pumps (transfer vacuum pumps), na nangangahulugang ang mga molekula ng gas ay patuloy na sinisipsip sa vacuum pump at inilalabas sa panlabas na kapaligiran upang maisakatuparan ang paglikas; ang huling apat na pump ay ikinategorya bilang gas capture pumps (capture vacuum pumps), na molecularly condensed o chemically bonded sa panloob na dingding ng pumping chamber upang makuha ang kinakailangang vacuum. Ang mga gas-capture pump ay tinatawag ding oil-free vacuum pumps dahil hindi sila gumagamit ng langis bilang working medium. Hindi tulad ng mga transfer pump, na permanenteng nag-aalis ng gas, ang ilang capture pump ay nababaligtad, na nagpapahintulot sa nakolekta o condensed gas na ilabas pabalik sa sistema sa panahon ng proseso ng pag-init.
Ang mga transfer vacuum pump ay nahahati sa dalawang pangunahing kategorya: volumetric at momentum transfer. Karaniwang kinabibilangan ng mga volumetric transfer pump ang rotary vane mechanical pump, liquid ring pump, reciprocating pump at Roots pump; karaniwang kinabibilangan ng mga momentum transfer vacuum pump ang mga molecular pump, jet pump, at oil diffusion pump. Karaniwang kinabibilangan ng mga capture vacuum pump ang mga low-temperature adsorption at sputtering ion pump.
Sa pangkalahatan, ang proseso ng patong ay magkakaiba, ang vacuum coating chamber vacuum ay dapat umabot sa iba't ibang antas, at sa teknolohiya ng vacuum, mas ginagamit ang background vacuum (kilala rin bilang intrinsic vacuum) upang ipahayag ang antas nito. Ang background vacuum ay tumutukoy sa vacuum ng vacuum coating chamber sa pamamagitan ng vacuum pump upang matugunan ang mga pangangailangan ng proseso ng patong ng pinakamataas na vacuum, at ang laki ng vacuum na ito ay pangunahing nakadepende sa kapasidad ng vacuum pumping. Ang vacuum coating room sa pamamagitan ng vacuum system nito ay maaaring umabot sa pinakamataas na vacuum na tinatawag na limit vacuum (o limit pressure). Inililista ng Table 1-2 ang hanay ng working pressure ng ilang karaniwang vacuum pump at ang ultimate pressure na maaaring makuha. Ang mga may kulay na bahagi ng talahanayan ay kumakatawan sa mga pressure na maaaring makuha ng bawat vacuum pump kapag ginamit kasama ng iba pang kagamitan.

–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua