Vakum elde etme işlemi, "vakum pompalama" olarak da bilinir ve kabın içindeki havayı uzaklaştırmak için farklı vakum pompalarının kullanılması anlamına gelir; böylece iç basınç bir atmosferin altına düşer. Günümüzde vakum elde etmek için yaygın olarak kullanılan cihazlar arasında döner kanatlı mekanik vakum pompaları, Roots pompaları, yağ difüzyon pompaları, kompozit moleküler pompalar, moleküler elek adsorpsiyon pompaları, titanyum süblimasyon pompaları, püskürtme iyon pompaları ve kriyojenik pompalar vb. yer almaktadır. Bu pompalardan ilk dördü gaz transfer pompaları (transfer vakum pompaları) olarak sınıflandırılır; bu, gaz moleküllerinin sürekli olarak vakum pompasına emildiği ve tahliye işlemini gerçekleştirmek için dış ortama boşaltıldığı anlamına gelir; son dördü ise gaz yakalama pompaları (yakalama vakum pompaları) olarak sınıflandırılır; bunlar, gerekli vakumu elde etmek için pompalama haznesinin iç duvarına moleküler olarak yoğunlaştırılmış veya kimyasal olarak bağlanmış gaz moleküllerini kullanır. Gaz yakalama pompaları, çalışma ortamı olarak yağ kullanmadıkları için yağsız vakum pompaları olarak da adlandırılır. Gazı kalıcı olarak uzaklaştıran transfer pompalarının aksine, bazı yakalama pompaları tersine çevrilebilir özelliktedir ve toplanan veya yoğunlaştırılan gazın ısıtma işlemi sırasında sisteme geri verilmesine olanak tanır.
Transfer vakum pompaları iki ana kategoriye ayrılır: hacimsel ve momentum transferli. Hacimsel transfer pompaları genellikle döner kanatlı mekanik pompaları, sıvı halkalı pompaları, pistonlu pompaları ve Roots pompalarını içerir; momentum transferli vakum pompaları genellikle moleküler pompaları, jet pompalarını ve yağ difüzyon pompalarını içerir. Yakalama vakum pompaları genellikle düşük sıcaklıkta adsorpsiyon ve püskürtme iyon pompalarını içerir.
Genel olarak, kaplama işlemi farklılık gösterir; vakum kaplama odasının vakum seviyesi farklı olmalıdır ve vakum teknolojisinde bu seviyeyi ifade etmek için genellikle arka plan vakumu (içsel vakum olarak da bilinir) kullanılır. Arka plan vakumu, vakum pompası aracılığıyla kaplama işleminin gereksinimlerini karşılayacak en yüksek vakum seviyesine ulaşan vakumu ifade eder ve bu vakumun boyutu esas olarak vakum pompalama kapasitesine bağlıdır. Vakum kaplama odasının vakum sistemiyle ulaşabileceği en yüksek vakum seviyesine limit vakumu (veya limit basıncı) denir. Tablo 1-2, bazı yaygın vakum pompalarının çalışma basıncı aralığını ve elde edilebilecek nihai basıncı listelemektedir. Tablonun gölgeli kısımları, her bir vakum pompasının diğer ekipmanlarla birlikte kullanıldığında elde edilebilecek basınçları göstermektedir.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 30 Ağustos 2024