Ngadamel vakum ogé katelah "pompa vakum", anu nujul kana panggunaan pompa vakum anu béda-béda pikeun miceun hawa di jero wadah, supados tekanan di jero rohangan turun ka handap hiji atmosfir. Ayeuna, pikeun kéngingkeun vakum sareng alat anu umum dianggo kalebet pompa vakum mékanis baling-baling putar, pompa akar, pompa difusi minyak, pompa molekul komposit, pompa adsorpsi ayakan molekul, pompa sublimasi titanium, pompa ion sputtering sareng pompa kriogenik sareng saterasna. Dina pompa ieu, opat pompa munggaran dikategorikeun salaku pompa transfer gas (pompa vakum transfer), anu hartosna molekul gas terus-terusan disedot kana pompa vakum sareng dikaluarkeun ka lingkungan éksternal pikeun ngawujudkeun évakuasi; opat pompa terakhir dikategorikeun salaku pompa panangkep gas (pompa vakum panangkep), anu dipadatkan sacara molekul atanapi dihijikeun sacara kimia dina témbok jero ruang pompa pikeun kéngingkeun vakum anu diperyogikeun. Pompa panangkep gas ogé disebut pompa vakum bébas minyak sabab henteu nganggo minyak salaku média kerja. Teu sapertos pompa transfer, anu miceun gas sacara permanén, sababaraha pompa panangkep tiasa dibalikkeun, ngamungkinkeun gas anu dikumpulkeun atanapi dipadatkan dikaluarkeun deui kana sistem salami prosés pemanasan.
Pompa vakum transfer dibagi kana dua kategori utama: transfer volumetrik sareng transfer momentum. Pompa transfer volumetrik biasana kalebet pompa mékanis baling-baling putar, pompa cincin cair, pompa resiprokating sareng pompa Akar; pompa vakum transfer momentum biasana kalebet pompa molekuler, pompa jet, pompa difusi minyak. Pompa vakum panangkep biasana kalebet pompa adsorpsi suhu rendah sareng pompa ion sputtering.
Sacara umum, prosés palapisna béda-béda, vakum rohangan palapis vakum kedah ngahontal tingkat anu béda-béda, sareng dina téknologi vakum, langkung seueur kana vakum latar (ogé katelah vakum intrinsik) pikeun ngébréhkeun tingkatna. Vakum latar nujul kana vakum rohangan palapis vakum ngaliwatan pompa vakum pikeun minuhan kabutuhan prosés palapis vakum pangluhurna, sareng ukuran vakum ieu, utamina gumantung kana kapasitas pompa vakum. Ruang palapis vakum ku sistem vakumna vakum tiasa ngahontal vakum pangluhurna disebut vakum wates (atanapi tekanan wates). Tabel 1-2 ngadaptar rentang tekanan kerja sababaraha pompa vakum umum sareng tekanan pamungkas anu tiasa diala. Bagian tabel anu diarsir ngagambarkeun tekanan anu tiasa diala ku unggal pompa vakum nalika dianggo digabungkeun sareng alat-alat sanés.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 30-Agu-2024