A tún mọ̀ sí “vacuum pumping”, èyí tí ó tọ́ka sí lílo onírúurú vacuum pumps láti yọ afẹ́fẹ́ inú àpótí náà kúrò, kí ìfúnpá inú àyè náà lè dín sí ìsàlẹ̀ afẹ́fẹ́ kan. Lọ́wọ́lọ́wọ́, láti lè gba vacuum àti àwọn ẹ̀rọ tí a sábà máa ń lò pẹ̀lú rotary vane mechanical vacuum pumps, Roots pumps, oil diffusion pumps, composite molecular pumps, molecular sieve adsorption pumps, titanium sublimation pumps, sputtering ion pumps àti cryogenic pumps àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Nínú àwọn pumps wọ̀nyí, àwọn pumps mẹ́rin àkọ́kọ́ ni a pín sí gaasi transfer pumps (transfer vacuum pumps), èyí tí ó túmọ̀ sí wípé a máa ń fa àwọn gaasi molecules sínú vacuum pumps nígbà gbogbo tí a sì máa ń tú wọn sí òde láti ṣe ìtújáde; àwọn pumps mẹ́rin tó kẹ́yìn ni a pín sí gaasi capture pumps (capture vacuum pumps), èyí tí a fi molecule condensed tàbí chemical so pọ̀ mọ́ ògiri inú ti pumproom láti gba vacuum tí a nílò. A tún ń pe àwọn pumps gas-capture pumps vacuum pumps ní èéfín tí kò ní epo nítorí wọn kò lo epo gẹ́gẹ́ bí ohun èlò tí ń ṣiṣẹ́. Láìdàbí àwọn pọ́ọ̀ǹpù gbigbe, tí ó máa ń yọ gáàsì kúrò pátápátá, àwọn pọ́ọ̀ǹpù gbigba kan lè yípadà, èyí tí ó ń jẹ́ kí a lè tú gáàsì tí a kó jọ tàbí tí a dì pọ̀ sínú ètò náà nígbà tí a bá ń lo ìgbóná.
Àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbálẹ̀ gbigbe ni a pín sí oríṣi méjì pàtàkì: volumetric àti momentum transfer. Àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbálẹ̀ volumetric sábà máa ń ní àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbálẹ̀ rotary vane mechanical pumps, liquid ring pumps, reciprocating pumps àti Roots pumps; àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbálẹ̀ momentum transfer sábà máa ń ní àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbálẹ̀ molikula, àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbálẹ̀ jet, àwọn ẹ̀rọ fifa ìfọ́ epo. Àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbálẹ̀ Capture sábà máa ń ní àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbóná díẹ̀ àti àwọn ẹ̀rọ fifa ìgbálẹ̀ sputtering ion.
Ni gbogbogbo, ilana ibora yatọ, afẹfẹ ibora iyẹwu yẹ ki o de awọn ipele oriṣiriṣi, ati ninu imọ-ẹrọ afẹfẹ, diẹ sii si afẹfẹ abẹlẹ (ti a tun mọ si afẹfẹ intrinsic) lati ṣafihan ipele rẹ. Agbara abẹlẹ tọka si afẹfẹ ti iyẹwu ibora afẹfẹ nipasẹ fifa afẹfẹ lati pade awọn iwulo ti ilana ibora ti afẹfẹ giga julọ, ati iwọn afẹfẹ yii, ti o da lori agbara fifa afẹfẹ. Yara ibora afẹfẹ nipasẹ eto afẹfẹ rẹ le de afẹfẹ giga julọ ni a pe ni vacuum limit (tabi titẹ opin). Tabili 1-2 ṣe atokọ ibiti titẹ iṣẹ ti diẹ ninu awọn fifa afẹfẹ ti o wọpọ ati titẹ ikẹhin ti o le gba. Awọn apakan ojiji ti tabili ṣe aṣoju awọn titẹ ti a le gba nipasẹ fifa afẹfẹ kọọkan nigbati a ba lo ni apapo pẹlu awọn ẹrọ miiran.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-30-2024