Вакуумды алу «вакуумдық сорғы» деп те аталады, бұл контейнер ішіндегі ауаны шығару үшін әртүрлі вакуумдық сорғыларды пайдалануды білдіреді, осылайша кеңістік ішіндегі қысым бір атмосферадан төмен түседі. Қазіргі уақытта вакуумды алу үшін айналмалы қалақшалы механикалық вакуумдық сорғылар, Roots сорғылары, май диффузиялық сорғылары, композиттік молекулалық сорғылар, молекулалық елек адсорбциялық сорғылар, титан сублимациялық сорғылар, шашырату иондық сорғылар және криогендік сорғылар және т.б. сияқты кең таралған құрылғылар қолданылады. Бұл сорғыларда алғашқы төрт сорғы газ тасымалдау сорғылары (трансферлік вакуумдық сорғылар) деп жіктеледі, бұл газ молекулаларының вакуумдық сорғыға үздіксіз сорылып, эвакуацияны жүзеге асыру үшін сыртқы ортаға шығарылатынын білдіреді; соңғы төрт сорғы газды ұстау сорғылары (ұстау вакуумдық сорғылары) деп жіктеледі, олар қажетті вакуумды алу үшін сорғы камерасының ішкі қабырғасында молекулалық конденсацияланады немесе химиялық байланысады. Газды ұстау сорғылары майсыз вакуумдық сорғылар деп те аталады, себебі олар майды жұмыс ортасы ретінде пайдаланбайды. Газды біржола кетіретін тасымалдау сорғыларынан айырмашылығы, кейбір сорғылар қайтымды, бұл жиналған немесе конденсацияланған газды қыздыру процесінде жүйеге қайта шығаруға мүмкіндік береді.
Тасымалдаушы вакуумдық сорғылар екі негізгі санатқа бөлінеді: көлемдік және импульстік тасымалдау. Көлемдік тасымалдаушы сорғыларға әдетте айналмалы қалақшалы механикалық сорғылар, сұйық сақиналы сорғылар, поршеньді сорғылар және Рутс сорғылары жатады; импульстік тасымалдаушы вакуумдық сорғыларға әдетте молекулалық сорғылар, ағынды сорғылар, май диффузиялық сорғылар жатады. Қаптау вакуумдық сорғыларға әдетте төмен температуралы адсорбциялық және шашырататын иондық сорғылар жатады.
Жалпы алғанда, жабу процесі әртүрлі, вакуумдық жабу камерасының вакуумы әртүрлі деңгейлерге жетуі керек, ал вакуумдық технологияда оның деңгейін білдіру үшін фондық вакуумға (ішкі вакуум деп те аталады) көбірек көңіл бөлінеді. Фондық вакуум дегеніміз - жабу процесінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін вакуумдық сорғы арқылы вакуумдық жабу камерасының вакуумын ең жоғары вакуумға айналдыру, және бұл вакуумның мөлшері негізінен вакуумдық сорғы сыйымдылығына байланысты. Вакуумдық жабу бөлмесінің вакуумдық жүйесі арқылы вакуум ең жоғары вакуумға жете алады, ол шекті вакуум (немесе шекті қысым) деп аталады. 1-2 кестеде кейбір кең таралған вакуумдық сорғылардың жұмыс қысымының диапазоны және алуға болатын шекті қысым көрсетілген. Кестенің көлеңкелі бөліктері басқа жабдықтармен бірге қолданылған кезде әрбір вакуумдық сорғы алуға болатын қысымдарды көрсетеді.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 30 тамыз