Proses mendapatkan vakum juga dikenal sebagai "pemompaan vakum", yang mengacu pada penggunaan berbagai pompa vakum untuk menghilangkan udara di dalam wadah, sehingga tekanan di dalam ruang tersebut turun hingga di bawah satu atmosfer. Saat ini, untuk mendapatkan vakum, perangkat yang umum digunakan meliputi pompa vakum mekanik baling-baling putar, pompa Roots, pompa difusi oli, pompa molekul komposit, pompa adsorpsi saringan molekuler, pompa sublimasi titanium, pompa ion sputtering, dan pompa kriogenik, dan sebagainya. Di antara pompa-pompa ini, empat pompa pertama dikategorikan sebagai pompa transfer gas (pompa vakum transfer), yang berarti molekul gas terus menerus dihisap ke dalam pompa vakum dan dikeluarkan ke lingkungan luar untuk mewujudkan evakuasi; empat pompa terakhir dikategorikan sebagai pompa penangkap gas (pompa vakum penangkap), yang secara molekuler terkondensasi atau terikat secara kimia pada dinding bagian dalam ruang pemompaan untuk mendapatkan vakum yang dibutuhkan. Pompa penangkap gas juga disebut pompa vakum bebas oli karena tidak menggunakan oli sebagai media kerja. Berbeda dengan pompa transfer yang secara permanen menghilangkan gas, beberapa pompa penangkap bersifat reversibel, memungkinkan gas yang terkumpul atau terkondensasi untuk dibuang kembali ke dalam sistem selama proses pemanasan.
Pompa vakum transfer terbagi menjadi dua kategori utama: transfer volumetrik dan transfer momentum. Pompa transfer volumetrik biasanya meliputi pompa mekanik baling-baling putar, pompa cincin cair, pompa bolak-balik, dan pompa Roots; pompa vakum transfer momentum biasanya meliputi pompa molekuler, pompa jet, dan pompa difusi minyak. Pompa vakum penangkap biasanya meliputi pompa ion adsorpsi suhu rendah dan pompa ion sputtering.
Secara umum, proses pelapisan berbeda-beda, vakum ruang pelapisan vakum harus mencapai tingkat yang berbeda, dan dalam teknologi vakum, lebih mengacu pada vakum latar belakang (juga dikenal sebagai vakum intrinsik) untuk menyatakan tingkatnya. Vakum latar belakang mengacu pada vakum ruang pelapisan vakum yang melalui pompa vakum untuk memenuhi kebutuhan vakum tertinggi proses pelapisan, dan besarnya vakum ini terutama bergantung pada kapasitas pemompaan vakum. Vakum ruang pelapisan vakum yang dapat mencapai vakum tertinggi disebut vakum batas (atau tekanan batas). Tabel 1-2 mencantumkan rentang tekanan kerja beberapa pompa vakum umum dan tekanan maksimum yang dapat diperoleh. Bagian yang diarsir pada tabel mewakili tekanan yang dapat diperoleh oleh setiap pompa vakum ketika digunakan bersama dengan peralatan lain.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 30 Agustus 2024