La obtención de vacío, también conocida como "bombeo de vacío", se refiere al uso de diferentes bombas de vacío para eliminar el aire del interior de un recipiente, de modo que la presión en su interior descienda por debajo de una atmósfera. Actualmente, para obtener el vacío se utilizan comúnmente dispositivos como bombas de vacío mecánicas de paletas rotativas, bombas Roots, bombas de difusión de aceite, bombas moleculares compuestas, bombas de adsorción de tamiz molecular, bombas de sublimación de titanio, bombas de iones de pulverización catódica y bombas criogénicas, entre otras. De estas bombas, las primeras cuatro se clasifican como bombas de transferencia de gas (bombas de vacío de transferencia), lo que significa que las moléculas de gas se aspiran continuamente hacia la bomba de vacío y se descargan al ambiente externo para lograr la evacuación; las últimas cuatro se clasifican como bombas de captura de gas (bombas de vacío de captura), que condensan molecularmente o se unen químicamente a la pared interna de la cámara de bombeo para obtener el vacío requerido. Las bombas de captura de gas también se denominan bombas de vacío sin aceite porque no utilizan aceite como medio de trabajo. A diferencia de las bombas de transferencia, que eliminan el gas de forma permanente, algunas bombas de captura son reversibles, lo que permite que el gas recogido o condensado se descargue de nuevo en el sistema durante el proceso de calentamiento.
Las bombas de vacío de transferencia se dividen en dos categorías principales: volumétricas y de transferencia de momento. Las bombas de transferencia volumétrica suelen incluir bombas mecánicas de paletas rotativas, bombas de anillo líquido, bombas recíprocas y bombas Roots; las bombas de vacío de transferencia de momento suelen incluir bombas moleculares, bombas de chorro y bombas de difusión de aceite. Las bombas de vacío de captura suelen incluir bombas de adsorción a baja temperatura y bombas de iones por pulverización catódica.
En general, el proceso de recubrimiento es diferente; el vacío de la cámara de recubrimiento al vacío debe alcanzar distintos niveles, y en la tecnología de vacío, se suele hablar de vacío de fondo (también conocido como vacío intrínseco) para expresar su nivel. El vacío de fondo se refiere al vacío de la cámara de recubrimiento al vacío, a través de la bomba de vacío, para satisfacer las necesidades del proceso de recubrimiento con el máximo vacío, y el tamaño de este vacío depende principalmente de la capacidad de la bomba de vacío. El vacío máximo que puede alcanzar la cámara de recubrimiento al vacío mediante su sistema de vacío se denomina vacío límite (o presión límite). La Tabla 1-2 muestra el rango de presión de trabajo de algunas bombas de vacío comunes y la presión máxima que pueden obtener. Las zonas sombreadas de la tabla representan las presiones que puede obtener cada bomba de vacío cuando se utiliza en combinación con otros equipos.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 30 de agosto de 2024