Ngoleksi vakum uga dikenal minangka "pompa vakum", sing nuduhake panggunaan pompa vakum sing beda-beda kanggo mbusak udara ing njero wadhah, supaya tekanan ing njero ruangan mudhun nganti kurang saka siji atmosfer. Saiki, kanggo entuk vakum lan piranti sing umum digunakake kalebu pompa vakum mekanik baling-baling putar, pompa akar, pompa difusi lenga, pompa molekul komposit, pompa adsorpsi saringan molekul, pompa sublimasi titanium, pompa ion sputtering lan pompa kriogenik lan liya-liyane. Ing pompa kasebut, papat pompa pisanan dikategorikake minangka pompa transfer gas (pompa vakum transfer), sing tegese molekul gas terus-terusan disedot menyang pompa vakum lan dibuwang menyang lingkungan njaba kanggo nggayuh evakuasi; papat pompa pungkasan dikategorikake minangka pompa penangkap gas (pompa vakum penangkap), sing dipadhetke sacara molekuler utawa diikat sacara kimia ing tembok njero ruang pompa kanggo entuk vakum sing dibutuhake. Pompa penangkap gas uga diarani pompa vakum bebas lenga amarga ora nggunakake lenga minangka media kerja. Ora kaya pompa transfer, sing mbusak gas kanthi permanen, sawetara pompa penangkap bisa dibalikke, saengga gas sing dikumpulake utawa dipadhetke dibuwang maneh menyang sistem sajrone proses pemanasan.
Pompa vakum transfer dipérang dadi rong kategori utama: transfer volumetrik lan momentum. Pompa transfer volumetrik biasane kalebu pompa mekanik baling-baling putar, pompa cincin cair, pompa resiprokating lan pompa Akar; pompa vakum transfer momentum biasane kalebu pompa molekuler, pompa jet, pompa difusi lenga. Pompa vakum penangkap biasane kalebu adsorpsi suhu rendah lan pompa ion sputtering.
Umumé, proses pelapisan iku béda-béda, vakum ruang pelapisan vakum kudu tekan tingkat sing béda-béda, lan ing teknologi vakum, luwih menyang vakum latar mburi (uga dikenal minangka vakum intrinsik) kanggo ngekspresikake tingkaté. Vakum latar mburi nuduhake vakum ruang pelapisan vakum liwat pompa vakum kanggo nyukupi kabutuhan proses pelapisan vakum paling dhuwur, lan ukuran vakum iki, utamane gumantung saka kapasitas pompa vakum. Ruang pelapisan vakum kanthi sistem vakum bisa tekan vakum paling dhuwur sing diarani vakum watesan (utawa tekanan watesan). Tabel 1-2 ndhaptar kisaran tekanan kerja sawetara pompa vakum umum lan tekanan pungkasan sing bisa dipikolehi. Bagean tabel sing diarsir makili tekanan sing bisa dipikolehi dening saben pompa vakum nalika digunakake bebarengan karo peralatan liyane.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 30 Agustus 2024