Die Erzeugung eines Vakuums, auch als „Vakuumpumpen“ bekannt, bezeichnet den Einsatz verschiedener Vakuumpumpen, um die Luft in einem Behälter zu entfernen und den Druck im Inneren auf unter eine Atmosphäre zu senken. Zu den gängigen Geräten für die Vakuumerzeugung zählen Drehschieber-Vakuumpumpen, Roots-Pumpen, Öldiffusionspumpen, Molekularpumpen, Molekularsieb-Adsorptionspumpen, Titan-Sublimationspumpen, Sputterionenpumpen und Kryopumpen. Die ersten vier Pumpen werden als Gastransferpumpen (Transfervakuumpumpen) bezeichnet. Sie saugen die Gasmoleküle kontinuierlich in die Vakuumpumpe und geben sie an die Umgebung ab, um die Evakuierung zu erreichen. Die letzten vier Pumpen werden als Gaseinfangpumpen (Einfangvakuumpumpen) bezeichnet. Sie nutzen molekulare Kondensation oder chemische Bindungen an der Innenwand der Pumpenkammer, um das erforderliche Vakuum zu erzeugen. Gaseinfangpumpen werden auch als ölfreie Vakuumpumpen bezeichnet, da sie kein Öl als Arbeitsmedium verwenden. Im Gegensatz zu Transferpumpen, die das Gas dauerhaft entfernen, sind einige Auffangpumpen reversibel, sodass das gesammelte oder kondensierte Gas während des Heizvorgangs wieder in das System eingeleitet werden kann.
Transfervakuumpumpen werden in zwei Hauptkategorien unterteilt: volumetrische und Impulstransfer-Vakuumpumpen. Zu den volumetrischen Transferpumpen zählen üblicherweise Drehschieberpumpen, Flüssigkeitsringpumpen, Kolbenpumpen und Roots-Pumpen; zu den Impulstransfer-Vakuumpumpen gehören üblicherweise Molekularpumpen, Strahlpumpen und Öldiffusionspumpen. Einfangvakuumpumpen umfassen üblicherweise Tieftemperatur-Adsorptions- und Sputterionenpumpen.
Im Allgemeinen ist der Beschichtungsprozess unterschiedlich. Die Vakuumkammer muss verschiedene Vakuumniveaus erreichen, wobei in der Vakuumtechnik das sogenannte Hintergrundvakuum (auch Eigenvakuum genannt) zur Beschreibung des Vakuumniveaus herangezogen wird. Das Hintergrundvakuum bezeichnet das Vakuum in der Beschichtungskammer, das durch die Vakuumpumpe erzeugt wird, um den Anforderungen des Beschichtungsprozesses gerecht zu werden. Die Größe dieses Vakuums hängt hauptsächlich von der Leistung der Vakuumpumpe ab. Das maximal erreichbare Vakuum in der Beschichtungskammer wird als Grenzvakuum (oder Grenzdruck) bezeichnet. Tabelle 1-2 listet den Arbeitsdruckbereich einiger gängiger Vakuumpumpen und den maximal erreichbaren Druck auf. Die schattierten Bereiche der Tabelle zeigen die Drücke, die mit der jeweiligen Vakuumpumpe in Kombination mit anderen Geräten erreicht werden können.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsmaschinenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungsdatum: 30. August 2024