L'obtention du vide, également appelée « pompage du vide », consiste à utiliser différentes pompes à vide pour extraire l'air d'un récipient et abaisser la pression en dessous d'une atmosphère. Actuellement, pour obtenir le vide, on utilise couramment des pompes à vide mécaniques à palettes rotatives, des pompes Roots, des pompes à diffusion d'huile, des pompes moléculaires composites, des pompes à adsorption sur tamis moléculaire, des pompes à sublimation de titane, des pompes à pulvérisation ionique et des pompes cryogéniques. Parmi ces pompes, les quatre premières sont des pompes à transfert de gaz (ou pompes à vide à transfert) : les molécules de gaz sont aspirées en continu dans la pompe et rejetées à l'extérieur pour réaliser l'évacuation du vide. Les quatre dernières sont des pompes à capture de gaz (ou pompes à vide à capture) : le gaz est condensé moléculairement ou lié chimiquement à la paroi interne de la chambre de pompage pour obtenir le vide requis. Ces dernières sont également appelées pompes à vide sans huile, car elles n'utilisent pas d'huile comme fluide de travail. Contrairement aux pompes de transfert, qui éliminent définitivement le gaz, certaines pompes de capture sont réversibles, permettant ainsi de réinjecter le gaz collecté ou condensé dans le système pendant le processus de chauffage.
Les pompes à vide de transfert se divisent en deux grandes catégories : les pompes volumétriques et les pompes à transfert de quantité de mouvement. Les pompes volumétriques comprennent généralement les pompes mécaniques à palettes rotatives, les pompes à anneau liquide, les pompes alternatives et les pompes Roots ; les pompes à vide à transfert de quantité de mouvement comprennent généralement les pompes moléculaires, les pompes à jet et les pompes à diffusion d’huile. Les pompes à vide de capture comprennent généralement les pompes à adsorption à basse température et les pompes à pulvérisation cathodique.
En général, le procédé de revêtement varie selon les besoins, et le niveau de vide requis dans la chambre de revêtement sous vide doit être adapté. En technologie du vide, on utilise plus souvent le terme de vide ambiant (ou vide intrinsèque) pour exprimer ce niveau. Le vide ambiant correspond au vide maximal atteint dans la chambre de revêtement grâce à la pompe à vide, afin de répondre aux exigences du procédé. Ce niveau de vide dépend principalement de la capacité de la pompe. Le vide maximal que peut atteindre une salle de revêtement grâce à son système de vide est appelé vide limite (ou pression limite). Le tableau 1-2 présente la plage de pression de fonctionnement de certaines pompes à vide courantes et la pression limite qu'elles peuvent atteindre. Les zones grisées du tableau représentent les pressions maximales que chaque pompe à vide peut fournir lorsqu'elle est utilisée avec d'autres équipements.
–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua
Date de publication : 30 août 2024