A obtenção de vácuo, também conhecida como "bombeamento a vácuo", refere-se ao uso de diferentes bombas de vácuo para remover o ar de um recipiente, reduzindo a pressão interna para menos de uma atmosfera. Atualmente, os dispositivos mais comuns para se obter vácuo incluem bombas de vácuo mecânicas de palhetas rotativas, bombas Roots, bombas de difusão de óleo, bombas moleculares compostas, bombas de adsorção de peneira molecular, bombas de sublimação de titânio, bombas de íons por pulverização catódica e bombas criogênicas, entre outras. Dentre essas bombas, as quatro primeiras são classificadas como bombas de transferência de gás (bombas de vácuo de transferência), nas quais as moléculas de gás são continuamente aspiradas para dentro da bomba e expelidas para o ambiente externo para realizar a evacuação; as quatro últimas são classificadas como bombas de captura de gás (bombas de vácuo de captura), nas quais as moléculas de gás são condensadas molecularmente ou ligadas quimicamente à parede interna da câmara de bombeamento para obter o vácuo necessário. As bombas de captura de gás também são chamadas de bombas de vácuo isentas de óleo, pois não utilizam óleo como fluido de trabalho. Ao contrário das bombas de transferência, que removem o gás permanentemente, algumas bombas de captura são reversíveis, permitindo que o gás coletado ou condensado seja descarregado de volta no sistema durante o processo de aquecimento.
As bombas de vácuo de transferência dividem-se em duas categorias principais: volumétricas e de transferência de momento. As bombas de transferência volumétrica geralmente incluem bombas mecânicas de palhetas rotativas, bombas de anel líquido, bombas de pistão e bombas Roots; as bombas de vácuo de transferência de momento geralmente incluem bombas moleculares, bombas de jato e bombas de difusão de óleo. As bombas de vácuo de captura geralmente incluem bombas de adsorção a baixa temperatura e bombas iônicas de pulverização catódica.
Em geral, o processo de revestimento é diferente, o vácuo na câmara de revestimento a vácuo deve atingir diferentes níveis e, na tecnologia de vácuo, é mais comum expressar esse nível como vácuo de fundo (também conhecido como vácuo intrínseco). O vácuo de fundo refere-se ao vácuo na câmara de revestimento a vácuo, obtido através da bomba de vácuo, para atender às necessidades do processo de revestimento, sendo o nível de vácuo máximo necessário. A magnitude desse vácuo depende principalmente da capacidade da bomba de vácuo. O vácuo máximo que a câmara de revestimento a vácuo pode atingir, de acordo com o sistema de vácuo, é chamado de vácuo limite (ou pressão limite). A Tabela 1-2 lista a faixa de pressão de trabalho de algumas bombas de vácuo comuns e a pressão máxima que podem ser obtidas. As áreas sombreadas da tabela representam as pressões que podem ser obtidas por cada bomba de vácuo quando usada em conjunto com outros equipamentos.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Data da publicação: 30 de agosto de 2024