Кои се класификациите на опремата за вакуумско обложување?

Технологијата за вакуумско обложување е технологија која нанесува тенки филмски материјали на површината на подлогата под вакуумска средина, што е широко користено во електрониката, оптиката, пакувањето, декорацијата и други области. Опремата за вакуумско обложување може главно да се подели на следниве типови:

1. Опрема за термичко испарување на премачкување: ова е најтрадиционалниот метод на вакуумско премачкување, со загревање на тенкофилмскиот материјал во испарувачкиот чамец, материјалот испарува и се таложи на површината на подлогата.
2. Опрема за распрскување: користејќи јони со висока енергија за да ја погодат површината на целниот материјал, атомите на целниот материјал се распрснуваат и се таложат на подлогата. Магнетронското распрскување овозможува порамномерно и посилно лепење на филмот, погодно за масовно производство.
3. Опрема за таложење со јонски зраци: Јонските зраци се користат за таложење на тенки филмови врз подлогата. Овој метод може да добие многу униформни филмови и е погоден за прилики со барања за висока прецизност, но цената на опремата е висока.
4. Опрема за хемиско таложење на пареа (CVD): Формира тенки филмови на површината на подлогата преку хемиска реакција. Овој метод може да подготви висококвалитетни филмови од повеќе видови, но опремата е сложена и скапа.
5. Опрема за молекуларна зрачна епитаксија (MBE): Ова е метод за контрола на растот на тенки филмови на атомско ниво и главно се користи за подготовка на ултратенки слоеви и повеќеслојни структури за полупроводнички и нанотехнолошки апликации.
6. Опрема за хемиско таложење со пареа подобрено со плазма (PECVD): Ова е техника што користи плазма за подобрување на таложењето на тенки филмови преку хемиска реакција, овозможувајќи брзо формирање на тенки филмови на пониски температури.
7. Уреди за пулсно ласерско нанесување (PLD): Овие користат високоенергетски ласерски импулси за да погодат цел, да испарат материјал од површината на целта и да го таложат на подлога, и се погодни за одгледување висококвалитетни, комплексни оксидни филмови.
Секој од овие уреди има свои карактеристики во дизајнот и работењето и е погоден за различни индустриски апликации и истражувачки области. Со развојот на технологијата, технологијата за вакуумско обложување исто така напредува, а се појавува и нова опрема за вакуумско обложување.

– Оваа статија е објавена одмашина за вакуумско обложувањепроизводителот Гуангдонг Женхуа