Технологијата на CVD обложување ги има следниве карактеристики:
1. Процесот на работа на CVD опремата е релативно едноставен и флексибилен, и може да подготви единечни или композитни филмови и легирани филмови со различни пропорции;
2. CVD премазот има широк спектар на примена и може да се користи за подготовка на разни метални или метални филмски премази;
3. Висока ефикасност на производството поради стапки на таложење кои се движат од неколку микрони до стотици микрони во минута;
4. Во споредба со PVD методот, CVD има подобри дифракциски перформанси и е многу погоден за обложување на подлоги со сложени форми, како што се жлебови, обложени дупки, па дури и структури на слепи дупки. Облогата може да се обложи во филм со добра компактност. Поради високата температура за време на процесот на формирање на филмот и силната адхезија на интерфејсот на филмската подлога, слојот на филмот е многу цврст.
5. Штетата предизвикана од зрачење е релативно мала и може да се интегрира со MOS процеси на интегрирани кола.
——Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа, а.производител на машина за вакуумско обложување
Време на објавување: 29 март 2023 година