製品説明

設備面での優位性

1. 深穴コーティングの最適化

独自の深穴コーティング技術：振華真空が独自開発した深穴コーティング技術は、30マイクロメートルという極めて小さな開口部でも10：1という優れたアスペクト比を実現し、複雑な深穴構造のコーティングにおける課題を克服します。

2. カスタマイズ可能、様々なサイズに対応

600×600mm、510×515mm、またはそれ以上のサイズを含む、様々なサイズのガラス基板に対応しています。

3. プロセスの柔軟性、多様な材料との互換性

この装置は、銅、チタン、タングステン、ニッケル、白金などの導電性または機能性薄膜材料に対応しており、導電性や耐食性に関するさまざまな用途のニーズを満たすことができます。

4. 安定した機器性能、容易なメンテナンス

本装置は、自動パラメータ調整と膜厚均一性のリアルタイム監視を可能にするインテリジェント制御システムを搭載しており、モジュール設計を採用することでメンテナンスが容易になり、ダウンタイムを削減します。

応用：TGV/TSV/TMVなどの高度なパッケージングに使用でき、アスペクト比10:1以上の深穴シード層コーティングを実現できます。