የመሳሪያው ጥቅም
1. ጥልቅ የጉድጓድ ሽፋን ማመቻቸት
ልዩ የሆነ የጥልቅ ጉድጓድ ሽፋን ቴክኖሎጂ፡ የዜንሁዋ ቫክዩም በራሱ የተገነባው ጥልቅ ጉድጓድ ሽፋን ቴክኖሎጂ እስከ 30 ማይክሮሜትር ድረስ ላሉ ትናንሽ ቀዳዳዎች እንኳን 10፡1 የላቀ የገጽታ ጥምርታ ሊያገኝ ይችላል፣ ይህም ውስብስብ የጥልቅ ጉድጓድ መዋቅሮች የሽፋን ተግዳሮቶችን ማሸነፍ ይችላል።
2. ሊበጅ የሚችል፣ የተለያዩ መጠኖችን ይደግፋል
የተለያዩ መጠኖች ያላቸውን የመስታወት ንጣፎች ይደግፋል፣ 600×600ሚሜ / 510×515ሚሜ ወይም ከዚያ በላይ የሆኑ ዝርዝሮችን ጨምሮ።
3. የሂደት ተለዋዋጭነት፣ ከብዙ ቁሳቁሶች ጋር ተኳሃኝ
መሳሪያው እንደ Cu፣ Ti፣ W፣ Ni እና Pt ካሉ ኮንዳክቲቭ ወይም ተግባራዊ ከሆኑ ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶች ጋር ተኳሃኝ ሲሆን ለኮንዳክሽን እና ለዝገት መቋቋም የተለያዩ የማመልከቻ ፍላጎቶችን ያሟላል።
4. የተረጋጋ የመሳሪያ አፈጻጸም፣ ቀላል ጥገና
መሳሪያዎቹ አውቶማቲክ የመለኪያ ማስተካከያ እና የፊልም ውፍረት ወጥነት በእውነተኛ ጊዜ ክትትልን የሚያስችል ብልህ የቁጥጥር ስርዓት የተገጠመላቸው ናቸው፤ ይህም ለቀላል ጥገና እና የስራ ማቆም ጊዜን ለመቀነስ ሞዱላር ዲዛይን ይጠቀማል።
ማመልከቻ፡ለ TGV/TSV/TMV የላቀ ማሸጊያ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል፣ ጥልቅ የቀዳዳ ዘር ሽፋን ሽፋን ከ≥10:1 የሆነ የገጽታ ጥምርታ ለማሳካት ይችላል።