제품 설명

장비 이점

1. 심공 코팅 최적화

독자적인 심공 코팅 기술: 젠화 진공(Zhenhua Vacuum)이 자체 개발한 심공 코팅 기술은 30마이크로미터에 불과한 미세한 구멍에서도 10:1의 우수한 종횡비를 구현하여 복잡한 심공 구조의 코팅 문제를 해결합니다.

2. 맞춤 설정 가능하며 다양한 크기를 지원합니다.

600×600mm / 510×515mm 또는 그 이상의 규격을 포함하여 다양한 크기의 유리 기판을 지원합니다.

3. 공정 유연성, 다양한 재료와의 호환성

이 장비는 Cu, Ti, W, Ni, Pt와 같은 전도성 또는 기능성 박막 재료와 호환되어 전도성 및 내식성에 대한 다양한 응용 분야 요구 사항을 충족합니다.

4. 안정적인 장비 성능, 손쉬운 유지보수

이 장비는 자동 파라미터 조정 및 필름 두께 균일도의 실시간 모니터링이 가능한 지능형 제어 시스템을 갖추고 있으며, 손쉬운 유지보수를 위해 모듈식 설계를 채택하여 가동 중지 시간을 줄였습니다.

애플리케이션:TGV/TSV/TMV 고급 패키징에 사용할 수 있으며, 종횡비 ≥10:1의 깊은 구멍 시드층 코팅을 구현할 수 있습니다.